Гранитът е твърд и издръжлив материал, който често се използва в строителната индустрия.Въпреки това, той също има свойства, които го правят полезен при производството на полупроводници, особено при производството и обработката на интегрални схеми.Гранитните компоненти, като гранитни маси и гранитни блокове, се използват широко заради тяхната стабилност, плоскост и нисък коефициент на топлинно разширение.
Едно от основните приложения на гранитни компоненти в производството на полупроводници е в процеса на производство.Силиконовите пластини, основните градивни елементи на интегралните схеми, трябва да бъдат произведени с висока прецизност и точност.Всяко изкривяване или движение по време на процеса може да доведе до дефекти, които могат да повлияят на качеството и функционалността на интегралните схеми.Гранитните маси, с тяхната висока стабилност и плоскост, осигуряват добра платформа за оборудването за обработка на вафли.Те също така са устойчиви на термично разширение и свиване, причинено от нагряването и охлаждането, необходими в процеса.
Гранитните блокове се използват и при обработката на полупроводници заради тяхната термична стабилност.По време на процеси на ецване или отлагане, горещи газове или плазма се използват за модифициране на повърхността на силиконовата пластина.Температурата на вафлата трябва да се контролира, за да се гарантира, че процесът се извършва ефективно и точно.Гранитните блокове, с техния нисък коефициент на топлинно разширение, спомагат за стабилизиране на температурата на пластината, намалявайки риска от температурни колебания, които могат да повлияят на качеството на обработвания материал.
Освен в процесите на производство и обработка, гранитните компоненти се използват и в етапите на метрология и инспекция на производството на полупроводници.Правят се метрологични измервания, за да се гарантира, че размерът, формата и позицията на структурите върху пластината са в рамките на изискваните спецификации.Гранитните блокове се използват като референтни стандарти при тези измервания поради тяхната стабилност на размерите и точност.Те се използват и в етапите на проверка, където качеството на интегралните схеми се проверява под голямо увеличение.
Като цяло използването на гранитни компоненти в производството на полупроводници се е увеличило през последните години.Необходимостта от висока прецизност, точност и стабилност при производството и обработката на интегрални схеми доведе до приемането на тези материали от производителите на полупроводници.Уникалните свойства на гранита, като неговата твърдост, стабилност и нисък коефициент на топлинно разширение, го правят отличен избор за използване в тези процеси.С непрекъснатото развитие и подобряване на полупроводниковата технология се очаква използването на гранитни компоненти да нарасне още повече в бъдеще.
Време на публикуване: 05 декември 2023 г