Материал - Керамика

♦Алуминиев оксид (Ал2O3)

Прецизните керамични части, произведени от ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), могат да бъдат изработени от керамични суровини с висока чистота, 92 ~ 97% алуминиев оксид, 99,5% алуминиев оксид, >99,9% алуминиев триоксид и CIP студено изостатично пресоване.Високотемпературно синтероване и прецизна механична обработка, точност на размерите ± 0,001 mm, гладкост до Ra0,1, използвана температура до 1600 градуса.Различни цветове керамика могат да бъдат изработени според изискванията на клиентите, като: черно, бяло, бежово, тъмно червено и др. Прецизните керамични части, произведени от нашата фирма, са устойчиви на висока температура, корозия, износване и изолация и могат да бъдат използван дълго време в среда с висока температура, вакуум и корозивни газове.

Широко използван в разнообразно оборудване за производство на полупроводници: рамки (керамична скоба), субстрат (основа), рамо/мост (манипулатор), механични компоненти и керамичен въздушен лагер.

AL2O3

Приложение на алуминиева керамика с висока чистота:
1. Прилага се за полупроводниково оборудване: керамичен вакуумен патронник, режещ диск, почистващ диск, керамичен патронник.
2. Части за прехвърляне на вафли: патронници за обработка на вафли, дискове за рязане на вафли, дискове за почистване на вафли, вендузи за оптичен контрол на вафли.
3. LED / LCD дисплей с плосък дисплей: керамична дюза, керамичен шлифовъчен диск, LIFT PIN, PIN шина.
4. Оптична комуникация, слънчева индустрия: керамични тръби, керамични пръти, ситопечат на платка, керамични скрепери.
5. Топлоустойчиви и електроизолиращи части: керамични лагери.
Понастоящем керамиката от алуминиев оксид може да бъде разделена на висока чистота и обикновена керамика.Серията керамика от алуминиев оксид с висока чистота се отнася до керамичния материал, съдържащ повече от 99,9% Al₂O₃.Поради температурата си на синтероване до 1650 - 1990°C и дължината на вълната на пропускане от 1 ~ 6 μm, обикновено се преработва в стопено стъкло вместо в платинен тигел: който може да се използва като натриева тръба поради своята пропускливост на светлина и устойчивост на корозия към алкален метал.В електронната индустрия може да се използва като високочестотен изолационен материал за IC субстрати.Според различното съдържание на алуминиев оксид, общата керамична серия от алуминиев оксид може да бъде разделена на 99 керамика, 95 керамика, 90 керамика и 85 керамика.Понякога керамиката с 80% или 75% алуминиев оксид също се класифицира като обикновена керамична серия от алуминиев оксид.Сред тях 99 керамични материали от алуминиев оксид се използват за производство на високотемпературни тигели, огнеупорни тръби за пещ и специални устойчиви на износване материали, като керамични лагери, керамични уплътнения и клапанни пластини.95 алуминиева керамика се използва главно като устойчива на корозия част, устойчива на износване.85 керамиката често се смесва в някои свойства, като по този начин се подобряват електрическите характеристики и механичната якост.Може да използва молибден, ниобий, тантал и други метални уплътнения, а някои се използват като електрически вакуумни устройства.

 

Качествен артикул (представителна стойност) Име на продукта AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 АЛ-31-03
Химичен състав Продукт за лесно синтероване с ниско съдържание на натрий H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
LOl % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Среден диаметър на частиците (MT-3300, метод за лазерен анализ) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Размер на кристала μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Формираща плътност** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Плътност на синтероване** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Скорост на свиване на линията за синтероване** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO не е включен в изчисляването на чистотата на Al₂O₃.
* Без лющен прах 29.4MPa (300kg/cm²), температура на синтероване е 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Добавете 0,05 ~ 0,1% MgO, синтероването е отлично, така че е приложимо за керамика от алуминиев оксид с чистота над 99%.
AES-22S: Характеризира се с висока плътност на формоване и ниска скорост на свиване на линията за синтероване, той е приложим за леене на плъзгащи се форми и други едромащабни продукти с необходимата точност на размерите.
AES-23 / AES-31-03: Има по-висока плътност на образуване, тиксотропия и по-нисък вискозитет от AES-22S.първият се използва за керамика, докато вторият се използва като водоредуктор за огнеупорни материали, набирайки популярност.

♦ Характеристики на силициев карбид (SiC).

Основни характеристики Чистота на основните компоненти (тегл.%) 97
Цвят Черен
Плътност (g/cm³) 3.1
Водна абсорбция (%) 0
Механични характеристики Якост на огъване (MPa) 400
Юнг модул (GPa) 400
Твърдост по Викерс (GPa) 20
Топлинни характеристики Максимална работна температура (°C) 1600 г
Коефициент на топлинно разширение RT ~ 500°С 3.9
(1/°C x 10-6) RT ~ 800°С 4.3
Топлопроводимост (W/m x K) 130 110
Устойчивост на термичен удар ΔT (°C) 300
Електрически характеристики Обемно съпротивление 25°C 3 х 106
300°С -
500°С -
800°С -
Диелектрична константа 10GHz -
Диелектрични загуби (x 10-4) -
Q фактор (x 104) -
Диелектрично пробивно напрежение (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Керамика от силициев нитрид

Материал Мерна единица Si₃N₄
Метод на синтероване - Синтеран под налягане на газ
Плътност g/cm³ 3.22
Цвят - Тъмно сив
Скорост на поглъщане на вода % 0
Млад модул Общ успех 290
Твърдост по Викерс Общ успех 18 - 20
Сила на натиск Мпа 2200
Сила на огъване Мпа 650
Топлопроводимост W/mK 25
Устойчивост на термичен удар Δ (°C) 450 - 650
Максимална работна температура °C 1200
Обемно съпротивление Ω·см > 10 ^ 14
Диелектрична константа - 8.2
Диелектрична якост kV/mm 16