Материал – керамика

♦Двуалуминиев оксид (Al2O3)

Прецизните керамични части, произведени от ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), могат да бъдат направени от керамични суровини с висока чистота, 92~97% алуминиев оксид, 99,5% алуминиев оксид, >99,9% алуминиев оксид и CIP студено изостатично пресоване.Високотемпературно синтероване и прецизна обработка, точност на размерите от ± 0,001 мм, гладкост до Ra0,1, работна температура до 1600 градуса.Различни цветове керамика могат да бъдат изработени според изискванията на клиента, като: черно, бяло, бежово, тъмно червено и др. Прецизните керамични части, произведени от нашата компания, са устойчиви на висока температура, корозия, износване и изолация и могат да бъдат използва се дълго време при висока температура, вакуум и корозивна газова среда.

Широко използван в разнообразно оборудване за производство на полупроводници: рамки (керамична скоба), субстрат (основа), ръка/мост (манипулатор), механични компоненти и керамичен въздушен лагер.

AL2O3

Име на продукта Керамична квадратна тръба/тръба/прът с висока чистота 99 алуминий
Индекс Мерна единица 85 % Al2O3 95 % Al2O3 99 % Al2O3 99,5 % Al2O3
Плътност g/cm3 3.3 3,65 3.8 3.9
Водна абсорбция % <0,1 <0,1 0 0
Температура на синтероване 1620 г 1650 г 1800 г 1800 г
твърдост Моос 7 9 9 9
Якост на огъване (20 ℃)) Mpa 200 300 340 360
Якост на натиск Kgf/cm2 10 000 25 000 30 000 30 000
Дълговременна работна температура 1350 1400 1600 1650 г
Макс.Работна температура 1450 1600 1800 г 1800 г
Обемно съпротивление 20 ℃ Ω.cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

Приложение на алуминиева керамика с висока чистота:
1. Прилага се към полупроводниково оборудване: керамичен вакуумен патронник, режещ диск, почистващ диск, керамичен патронник.
2. Части за трансфер на вафли: патронници за обработка на вафли, дискове за рязане на вафли, дискове за почистване на вафли, вендузи за оптична инспекция на вафли.
3. Индустрия на LED/LCD дисплеи с плосък панел: керамична дюза, керамичен диск за смилане, LIFT PIN, PIN шина.
4. Оптична комуникация, слънчева индустрия: керамични тръби, керамични пръти, печатни платки, керамични стъргалки.
5. Топлоустойчиви и електроизолационни части: керамични лагери.
Понастоящем керамиката от алуминиев оксид може да бъде разделена на керамика с висока чистота и обикновена керамика.Серията керамика от алуминиев оксид с висока чистота се отнася до керамичния материал, съдържащ повече от 99,9% Al₂O₃.Поради температурата на синтероване до 1650 - 1990°C и дължината на вълната на предаване от 1 ~ 6 μm, той обикновено се преработва в стопено стъкло вместо в платинен тигел: който може да се използва като натриева тръба поради своята пропускливост на светлина и устойчивост на корозия към алкален метал.В електронната индустрия може да се използва като високочестотен изолационен материал за IC субстрати.Според различното съдържание на алуминиев оксид, обикновената керамична серия от алуминиев оксид може да бъде разделена на 99 керамика, 95 керамика, 90 керамика и 85 керамика.Понякога керамиката с 80% или 75% алуминиев оксид също се класифицира като обикновена керамична серия от алуминиев оксид.Сред тях 99 керамичен материал от алуминиев оксид се използва за производство на високотемпературен тигел, огнеупорна тръба за пещ и специални устойчиви на износване материали, като керамични лагери, керамични уплътнения и клапанни плочи.95 алуминиева керамика се използва главно като устойчива на корозия износоустойчива част.85 керамика често се смесва в някои свойства, като по този начин подобрява електрическите характеристики и механичната якост.Може да използва молибден, ниобий, тантал и други метални уплътнения, а някои се използват като електрически вакуумни устройства.

 

Качествен артикул (представителна стойност) Име на продукта AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Химичен състав Лесен за синтероване продукт с ниско съдържание на натрий H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
ЛОл % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na2O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Среден диаметър на частиците (MT-3300, лазерен метод за анализ) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Размер на кристала μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Плътност на формоване** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Плътност на синтероване** g/cm³ 3,88 3.93 3,94 3.93 3,88 3.77 3.22
Степен на свиване на линията за синтероване** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO не е включен в изчисляването на чистотата на Al₂O₃.
* Без прах за образуване на котлен камък 29,4MPa (300kg/cm²), температурата на синтероване е 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Добавете 0,05 ~ 0,1% MgO, способността за синтероване е отлична, така че е приложима за керамика от алуминиев оксид с чистота над 99%.
AES-22S: Характеризира се с висока плътност на формоване и ниска степен на свиване на линията за синтероване, той е приложим за отливане с плъзгащи се форми и други широкомащабни продукти с изисквана точност на размерите.
AES-23 / AES-31-03: Има по-висока плътност на формоване, тиксотропия и по-нисък вискозитет от AES-22S.първият се използва за керамика, докато последният се използва като редуктор на вода за огнеупорни материали, набирайки популярност.

♦Характеристики на силициев карбид (SiC).

Основни характеристики Чистота на основните компоненти (тегл.%) 97
Цвят черен
Плътност (g/cm³) 3.1
Водна абсорбция (%) 0
Механични характеристики Якост на огъване (MPa) 400
Модул на Юнг (GPa) 400
Твърдост по Викерс (GPa) 20
Топлинни характеристики Максимална работна температура (°C) 1600
Коефициент на термично разширение RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Топлопроводимост (W/m x K) 130 110
Устойчивост на термичен удар ΔT (°C) 300
Електрически характеристики Обемно съпротивление 25°C 3 х 106
300°C -
500°C -
800°C -
Диелектрична константа 10GHz -
Диелектрични загуби (x 10-4) -
Q фактор (x 104) -
Пробивно напрежение на диелектрика (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Керамика от силициев нитрид

Материал Мерна единица Si₃N₄
Метод на синтероване - Синтеран под налягане на газ
Плътност g/cm³ 3.22
Цвят - Тъмно сив
Скорост на водопоглъщане % 0
Young Modulus Общ успех 290
Твърдост по Викерс Общ успех 18 - 20
Якост на натиск Mpa 2200
Якост на огъване Mpa 650
Топлопроводимост W/mK 25
Устойчивост на термичен удар Δ (°C) 450 - 650
Максимална работна температура °C 1200
Обемно съпротивление Ω·cm > 10 ^ 14
Диелектрична константа - 8.2
Диелектрична якост kV/mm 16