Гранитът е твърд и издръжлив материал, който често се използва в строителната индустрия. Той обаче притежава и свойства, които го правят полезен в производството на полупроводници, особено при изработката и обработката на интегрални схеми. Гранитните компоненти, като гранитни маси и гранитни блокове, се използват широко заради тяхната стабилност, плоскост и нисък коефициент на термично разширение.
Едно от основните приложения на гранитните компоненти в производството на полупроводници е в процеса на изработка. Силициевите пластини, основните градивни елементи на интегралните схеми, трябва да бъдат изработени с висока прецизност и точност. Всяко изкривяване или движение по време на процеса може да доведе до дефекти, които могат да повлияят на качеството и функционалността на интегралните схеми. Гранитните маси, с високата си стабилност и плоскост, осигуряват добра платформа за оборудването за обработка на пластини. Те са също така устойчиви на термично разширение и свиване, причинени от нагряването и охлаждането, необходими в процеса.
Гранитните блокове се използват и в обработката на полупроводници заради тяхната термична стабилност. По време на процесите на ецване или отлагане се използват горещи газове или плазми за модифициране на повърхността на силициевата пластина. Температурата на пластината трябва да се контролира, за да се гарантира, че процесът се извършва ефективно и точно. Гранитните блокове, с ниския си коефициент на термично разширение, спомагат за стабилизиране на температурата на пластината, намалявайки риска от температурни колебания, които биха могли да повлияят на качеството на обработения материал.
Освен в процесите на производство и обработка, гранитните компоненти се използват и в етапите на метрология и инспекция на производството на полупроводници. Метрологичните измервания се правят, за да се гарантира, че размерът, формата и позицията на структурите върху пластината са в рамките на необходимите спецификации. Гранитните блокове се използват като референтни стандарти при тези измервания поради тяхната размерна стабилност и точност. Те се използват и в етапите на инспекция, където качеството на интегралните схеми се проверява под голямо увеличение.
Като цяло, употребата на гранитни компоненти в производството на полупроводници се е увеличила през последните години. Необходимостта от висока прецизност, точност и стабилност при производството и обработката на интегрални схеми е довела до приемането на тези материали от производителите на полупроводници. Уникалните свойства на гранита, като неговата твърдост, стабилност и нисък коефициент на термично разширение, го правят отличен избор за използване в тези процеси. С непрекъснатото развитие и усъвършенстване на полупроводниковите технологии се очаква употребата на гранитни компоненти да нарасне още повече в бъдеще.
Време на публикуване: 05 декември 2023 г.