Гранитът е твърд и траен материал, който често се използва в строителната индустрия. Въпреки това, той има и свойства, които го правят полезен при производството на полупроводници, особено в производството и обработката на интегрални схеми. Гранитни компоненти, като гранитни маси и гранитни блокове, се използват широко за тяхната стабилност, плоскост и нисък коефициент на термично разширение.
Едно от основните приложения на гранитните компоненти при производството на полупроводници е в процеса на производство. Силиконовите вафли, основните градивни елементи на интегралните вериги, трябва да бъдат изработени с висока точност и точност. Всяко изкривяване или движение по време на процеса може да доведе до дефекти, които могат да повлияят на качеството и функционалността на интегралните схеми. Гранитните маси, със своята висока стабилност и плоскост, осигуряват добра платформа за оборудването за обработка на вафли. Те също са устойчиви на термично разширяване и свиване, причинени от отоплението и охлаждането, необходими в процеса.
Гранитните блокове се използват и при полупроводниково обработка за тяхната термична стабилност. По време на процесите на офорт или отлагане се използват горещи газове или плазми за промяна на повърхността на силициевата вафла. Температурата на вафлата трябва да бъде контролирана, за да се гарантира, че процесът се осъществява ефективно и точно. Гранитните блокове, с ниския си коефициент на термично разширяване, спомагат за стабилизиране на температурата на вафлата, намалявайки риска от температурни колебания, които могат да повлияят на качеството на преработения материал.
Освен процесите на производство и обработка, гранитните компоненти се използват и в етапите на метрологията и проверката на производството на полупроводници. Измерванията на метрологията се правят, за да се гарантира, че размерът, формата и позицията на структурите на вафлата са в рамките на необходимите спецификации. Гранитните блокове се използват като референтни стандарти при тези измервания поради тяхната стабилност и точност на размерите. Те също се използват в етапите на проверка, където качеството на интегралните вериги се проверява при високо увеличение.
Като цяло използването на гранитни компоненти при производството на полупроводници се е увеличило през последните години. Необходимостта от висока точност, точност и стабилност в производството и обработката на интегрални схеми е довела до приемането на тези материали от производителите на полупроводници. Уникалните свойства на гранита, като неговата твърдост, стабилност и нисък коефициент на термично разширяване, го правят отличен избор за използване в тези процеси. С непрекъснатото развитие и подобряване на полупроводниковите технологии се очаква използването на гранитни компоненти да нарасне още повече в бъдеще.
Време за публикация: DEC-05-2023