Системите от гранитни въздушни лагери се използват широко вултрапрецизенплатформи за движение за производство на полупроводници, оптично подравняване и нанометрова метрология.
Тези системи елиминират механичния контакт, като използват тънък филм от сгъстен въздух, постигайки движение с почти нулево триене.
Принцип на въздушния лагер
Въздушните лагери работят чрез вкарване на сгъстен въздух между две повърхности, образувайки въздушен филм с дебелина 2–20 μm.
Това елиминира:
- Механично триене
- Носете
- Поведение при залепване и подхлъзване
Системата разчита на динамиката на флуидния филм и стабилен ламинарен поток.
Роля на гранита
Гранитът осигурява:
- Структурна стабилност
- Потискане на термичния дрейф
- Затихване на вибрациите
Той служи като механична отправна точка за системата за движение.
Системни компоненти
- Гранитна основа
- подложки за въздушни лагери
- Система за подаване на въздух
- Прецизни енкодери
- Система за управление на движението
Характеристики на производителността
Типичната производителност включва:
- Точност на позициониране от субмикрон
- Висока праволинейност при дълъг ход
- Нулев механичен люфт
Основните източници на грешки включват нестабилност на въздушното налягане, термично отклонение и грешка на енкодера.
Приложения
- Инспекция на полупроводникови пластини
- Литографски системи
- Платформи за оптично подравняване
- Висококачествени метрологични машини
ЧЗВ
Износват ли се въздушните лагери?
Липсата на механичен контакт елиминира износването.
Защо да използваме гранит?
За стабилност и амортизиране на вибрациите.
Какво ограничава точността?
Стабилност на въздуха и термични ефекти.
Могат ли да носят тежки товари?
Да, в зависимост от дизайна.
Време на публикуване: 03 юли 2026 г.