♦Алуминиев оксид (Al2О3)
Прецизните керамични части, произведени от ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), могат да бъдат изработени от високочисти керамични суровини, 92~97% алуминиев оксид, 99,5% алуминиев оксид, >99,9% алуминиев оксид и CIP студено изостатично пресоване. Високотемпературно синтероване и прецизна обработка, точност на размерите от ± 0,001 мм, гладкост до Ra0,1, работна температура до 1600 градуса. Могат да се изработят различни цветове керамика според изискванията на клиентите, като например: черно, бяло, бежово, тъмночервено и др. Прецизните керамични части, произведени от нашата компания, са устойчиви на висока температура, корозия, износване и изолация и могат да се използват дълго време при висока температура, вакуум и корозивна газова среда.
Широко използван в разнообразно оборудване за производство на полупроводници: рамки (керамична скоба), подложка (основа), рамо/мост (манипулатор), механични компоненти и керамични въздушни лагери.
| Име на продукта | Керамична квадратна тръба/тръба/пръчка от алуминиев оксид с висока чистота 99 | |||||
| Индекс | Единица | 85% Al2O3 | 95% Al₂O₃ | 99% Al2O3 | 99,5% Al₂O₃ | |
| Плътност | г/см3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Абсорбция на вода | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Температура на синтероване | ℃ | 1620 г. | 1650 г. | 1800 г. | 1800 г. | |
| Твърдост | Моос | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Якост на огъване (20℃)) | МПа | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Якост на натиск | кгс/см² | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Дългосрочна работна температура | ℃ | 1350 г. | 1400 | 1600 г. | 1650 г. | |
| Максимална работна температура | ℃ | 1450 г. | 1600 г. | 1800 г. | 1800 г. | |
| Обемно съпротивление | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Приложение на алуминиева керамика с висока чистота:
1. Прилага се за полупроводниково оборудване: керамичен вакуумен патронник, режещ диск, почистващ диск, керамичен ПАТРОНИК.
2. Части за прехвърляне на пластини: патронници за работа с пластини, дискове за рязане на пластини, дискове за почистване на пластини, вендузи за оптична проверка на пластини.
3. LED / LCD индустрия за плоски дисплеи: керамична дюза, керамичен шлифовъчен диск, ПОВДИГАЩ ЩИФТ, ПИН релса.
4. Оптична комуникация, слънчева индустрия: керамични тръби, керамични пръти, керамични стъргалки за ситопечат на платки.
5. Термоустойчиви и електроизолиращи части: керамични лагери.
Понастоящем алуминиево-оксидната керамика може да се раздели на високочиста и обикновена керамика. Серията високочиста алуминиево-оксидна керамика се отнася до керамичен материал, съдържащ над 99,9% Al₂O₃. Поради температурата на синтероване до 1650 - 1990°C и дължината на вълната на пропускане от 1 ~ 6μm, тя обикновено се преработва в разтопено стъкло вместо в платинен тигел, който може да се използва като натриева тръба поради своята светлинна пропускливост и устойчивост на корозия на алкални метали. В електронната промишленост може да се използва като високочестотен изолационен материал за IC субстрати. В зависимост от различното съдържание на алуминиев оксид, серията обикновена алуминиево-оксидна керамика може да се раздели на 99 керамика, 95 керамика, 90 керамика и 85 керамика. Понякога керамиката с 80% или 75% алуминиев оксид също се класифицира като обикновена алуминиево-оксидна керамика. Сред тях, керамичният материал от алуминиев оксид 99 се използва за производството на високотемпературни тигели, огнеупорни тръби за пещи и специални износоустойчиви материали, като керамични лагери, керамични уплътнения и клапанни плочи. Алуминиевата керамика 95 се използва главно като устойчива на корозия и износоустойчива част. Керамиката 85 често се смесва с някои свойства, като по този начин подобрява електрическите характеристики и механичната якост. Може да се използват молибден, ниобий, тантал и други метални уплътнения, а някои се използват като електрически вакуумни устройства.
| Качествен артикул (представителна стойност) | Име на продукта | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Химичен състав: Продукт с ниско съдържание на натрий, лесен за синтероване | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| ХАХА | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Среден диаметър на частиците (MT-3300, метод за лазерен анализ) | μm | 0,44 | 0,43 | 0.39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Размер на α кристала | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Плътност на формоване** | г/см³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Плътност на синтероване** | г/см³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Скорост на свиване на линията за синтероване** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO не е включен в изчисляването на чистотата на Al₂O₃.
* Без накипящ прах 29,4 MPa (300 kg/cm²), температура на синтероване 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Добавяне на 0,05 ~ 0,1% MgO, синтероваемостта е отлична, така че е приложима за алуминиево-оксидна керамика с чистота над 99%.
AES-22S: Характеризира се с висока плътност на формоване и ниска скорост на свиване на линията за синтероване, приложима е за леене в шликерни форми и други големи продукти с необходимата точност на размерите.
AES-23 / AES-31-03: Има по-висока плътност на формоване, тиксотропия и по-нисък вискозитет от AES-22S. Първият се използва за керамика, докато вторият се използва като редуктор на вода за огнеупорни материали, набирайки популярност.
♦Характеристики на силициев карбид (SiC)
| Общи характеристики | Чистота на основните компоненти (тегл.%) | 97 | |
| Цвят | Черно | ||
| Плътност (г/см³) | 3.1 | ||
| Поглъщане на вода (%) | 0 | ||
| Механични характеристики | Якост на огъване (MPa) | 400 | |
| Модул на Юнг (GPa) | 400 | ||
| Твърдост по Викерс (GPa) | 20 | ||
| Термични характеристики | Максимална работна температура (°C) | 1600 г. | |
| Коефициент на термично разширение | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Топлопроводимост (W/m x K) | 130 110 | ||
| Устойчивост на термичен шок ΔT (°C) | 300 | ||
| Електрически характеристики | Обемно съпротивление | 25°C | 3 х 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Диелектрична константа | 10 GHz | - | |
| Диелектрични загуби (x 10-4) | - | ||
| Q-фактор (x 104) | - | ||
| Диелектрично пробивно напрежение (KV/mm) | - | ||
♦Силициева нитридна керамика
| Материал | Единица | Si₃N₄ |
| Метод на синтероване | - | Синтеровано под налягане на газ |
| Плътност | г/см³ | 3.22 |
| Цвят | - | Тъмно сиво |
| Скорост на абсорбция на вода | % | 0 |
| Модул на Юнг | Среден успех | 290 |
| Твърдост по Викерс | Среден успех | 18 - 20 |
| Якост на натиск | МПа | 2200 |
| Якост на огъване | МПа | 650 |
| Топлопроводимост | W/mK | 25 |
| Устойчивост на термичен удар | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Максимална работна температура | °C | 1200 |
| Обемно съпротивление | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Диелектрична константа | - | 8.2 |
| Диелектрична якост | kV/мм | 16 |