♦Двуалуминиев оксид (Al2O3)
Прецизните керамични части, произведени от ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), могат да бъдат направени от керамични суровини с висока чистота, 92~97% алуминиев оксид, 99,5% алуминиев оксид, >99,9% алуминиев оксид и CIP студено изостатично пресоване.Високотемпературно синтероване и прецизна обработка, точност на размерите от ± 0,001 мм, гладкост до Ra0,1, работна температура до 1600 градуса.Различни цветове керамика могат да бъдат изработени според изискванията на клиента, като: черно, бяло, бежово, тъмно червено и др. Прецизните керамични части, произведени от нашата компания, са устойчиви на висока температура, корозия, износване и изолация и могат да бъдат използва се дълго време при висока температура, вакуум и корозивна газова среда.
Широко използван в разнообразно оборудване за производство на полупроводници: рамки (керамична скоба), субстрат (основа), ръка/мост (манипулатор), механични компоненти и керамичен въздушен лагер.
| Име на продукта | Керамична квадратна тръба/тръба/прът с висока чистота 99 алуминий | |||||
| Индекс | Мерна единица | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
| Плътност | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
| Водна абсорбция | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Температура на синтероване | ℃ | 1620 г | 1650 г | 1800 г | 1800 г | |
| твърдост | Моос | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Якост на огъване (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Якост на натиск | Kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30 000 | 30 000 | |
| Дълговременна работна температура | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 г | |
| Макс.Работна температура | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 г | 1800 г | |
| Обемно съпротивление | 20 ℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Приложение на алуминиева керамика с висока чистота:
1. Прилага се към полупроводниково оборудване: керамичен вакуумен патронник, режещ диск, почистващ диск, керамичен патронник.
2. Части за трансфер на вафли: патронници за обработка на вафли, дискове за рязане на вафли, дискове за почистване на вафли, вендузи за оптична инспекция на вафли.
3. Индустрия на LED/LCD дисплеи с плосък панел: керамична дюза, керамичен диск за смилане, LIFT PIN, PIN шина.
4. Оптична комуникация, слънчева индустрия: керамични тръби, керамични пръти, печатни платки, керамични стъргалки.
5. Топлоустойчиви и електроизолационни части: керамични лагери.
Понастоящем керамиката от алуминиев оксид може да бъде разделена на керамика с висока чистота и обикновена керамика.Серията керамика от алуминиев оксид с висока чистота се отнася до керамичния материал, съдържащ повече от 99,9% Al₂O₃.Поради температурата на синтероване до 1650 - 1990°C и дължината на вълната на предаване от 1 ~ 6 μm, той обикновено се преработва в стопено стъкло вместо в платинен тигел: който може да се използва като натриева тръба поради своята пропускливост на светлина и устойчивост на корозия към алкален метал.В електронната индустрия може да се използва като високочестотен изолационен материал за IC субстрати.Според различното съдържание на алуминиев оксид, обикновената керамична серия от алуминиев оксид може да бъде разделена на 99 керамика, 95 керамика, 90 керамика и 85 керамика.Понякога керамиката с 80% или 75% алуминиев оксид също се класифицира като обикновена керамична серия от алуминиев оксид.Сред тях 99 керамичен материал от алуминиев оксид се използва за производство на високотемпературен тигел, огнеупорна тръба за пещ и специални устойчиви на износване материали, като керамични лагери, керамични уплътнения и клапанни плочи.95 алуминиева керамика се използва главно като устойчива на корозия износоустойчива част.85 керамика често се смесва в някои свойства, като по този начин подобрява електрическите характеристики и механичната якост.Може да използва молибден, ниобий, тантал и други метални уплътнения, а някои се използват като електрически вакуумни устройства.
| Качествен артикул (представителна стойност) | Име на продукта | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Химичен състав Лесен за синтероване продукт с ниско съдържание на натрий | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| ЛОл | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na2O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Среден диаметър на частиците (MT-3300, лазерен метод за анализ) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Размер на кристала | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Плътност на формоване** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Плътност на синтероване** | g/cm³ | 3,88 | 3.93 | 3,94 | 3.93 | 3,88 | 3.77 | 3.22 | |
| Степен на свиване на линията за синтероване** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO не е включен в изчисляването на чистотата на Al₂O₃.
* Без прах за образуване на котлен камък 29,4MPa (300kg/cm²), температурата на синтероване е 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Добавете 0,05 ~ 0,1% MgO, способността за синтероване е отлична, така че е приложима за керамика от алуминиев оксид с чистота над 99%.
AES-22S: Характеризира се с висока плътност на формоване и ниска степен на свиване на линията за синтероване, той е приложим за отливане с плъзгащи се форми и други широкомащабни продукти с изисквана точност на размерите.
AES-23 / AES-31-03: Има по-висока плътност на формоване, тиксотропия и по-нисък вискозитет от AES-22S.първият се използва за керамика, докато последният се използва като редуктор на вода за огнеупорни материали, набирайки популярност.
♦Характеристики на силициев карбид (SiC).
| Основни характеристики | Чистота на основните компоненти (тегл.%) | 97 | |
| Цвят | черен | ||
| Плътност (g/cm³) | 3.1 | ||
| Водна абсорбция (%) | 0 | ||
| Механични характеристики | Якост на огъване (MPa) | 400 | |
| Модул на Юнг (GPa) | 400 | ||
| Твърдост по Викерс (GPa) | 20 | ||
| Топлинни характеристики | Максимална работна температура (°C) | 1600 | |
| Коефициент на термично разширение | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Топлопроводимост (W/m x K) | 130 110 | ||
| Устойчивост на термичен удар ΔT (°C) | 300 | ||
| Електрически характеристики | Обемно съпротивление | 25°C | 3 х 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Диелектрична константа | 10GHz | - | |
| Диелектрични загуби (x 10-4) | - | ||
| Q фактор (x 104) | - | ||
| Пробивно напрежение на диелектрика (KV/mm) | - | ||
♦Керамика от силициев нитрид
| Материал | Мерна единица | Si₃N₄ |
| Метод на синтероване | - | Синтеран под налягане на газ |
| Плътност | g/cm³ | 3.22 |
| Цвят | - | Тъмно сив |
| Скорост на водопоглъщане | % | 0 |
| Young Modulus | Общ успех | 290 |
| Твърдост по Викерс | Общ успех | 18 - 20 |
| Якост на натиск | Mpa | 2200 |
| Якост на огъване | Mpa | 650 |
| Топлопроводимост | W/mK | 25 |
| Устойчивост на термичен удар | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Максимална работна температура | °C | 1200 |
| Обемно съпротивление | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Диелектрична константа | - | 8.2 |
| Диелектрична якост | kV/mm | 16 |