В ключовата връзка в производството на чипове - сканирането на пластини, точността на оборудването определя качеството на чипа. Като важен компонент на оборудването, проблемът с термичното разширение на основата на гранитната машина е привлякъл много внимание.
Коефициентът на термично разширение на гранита обикновено е между 4 и 8×10⁻⁶/℃, което е много по-ниско от това на металите и мрамора. Това означава, че при промяна на температурата размерът му се променя сравнително малко. Трябва да се отбележи обаче, че ниското термично разширение не означава, че няма термично разширение. При екстремни температурни колебания, дори най-малкото разширение може да повлияе на наномащабната точност на сканиране на пластини.
По време на процеса на сканиране на пластини има множество причини за появата на термично разширение. Температурните колебания в цеха, топлината, генерирана от работата на компонентите на оборудването, и моментално високата температура, породена от лазерната обработка, ще доведат до „разширяване и свиване“ на гранитната основа поради температурни промени. След като основата претърпи термично разширение, праволинейността на водещата релса и плоскостта на платформата могат да се отклонят, което ще доведе до неточна траектория на движение на масата за пластини. Оптичните компоненти, които поддържат пластината, също ще се изместят, което ще доведе до „отклонение“ на сканиращия лъч. Непрекъснатата работа за продължителен период от време също ще натрупа грешки, което ще влоши точността.
Но не се притеснявайте. Хората вече имат решения. По отношение на материалите ще бъдат избрани гранитни жилки с по-нисък коефициент на термично разширение и ще бъдат подложени на обработка за стареене. По отношение на контрола на температурата, температурата в работилницата се контролира прецизно на 23±0,5℃ или дори по-ниска, а за основата ще бъде проектирано и активно устройство за разсейване на топлината. По отношение на структурния дизайн се възприемат симетрични конструкции и гъвкави опори, а мониторингът в реално време се извършва чрез температурни сензори. Грешките, причинени от термична деформация, се коригират динамично от алгоритми.
Висококачествено оборудване, като например ASML литографски машини, чрез тези методи поддържа ефекта на термично разширение на гранитната основа в изключително малък диапазон, което позволява точността на сканиране на пластините да достигне нанометрово ниво. Следователно, стига да се контролира правилно, гранитната основа остава надежден избор за оборудване за сканиране на пластини.
Време на публикуване: 12 юни 2025 г.