Производство на полупроводници
Литография: Литографията е ключов процес в производството на полупроводници, който изисква прецизно пренасяне на сложни схеми върху пластини. Прецизната активна виброизолираща платформа за движение XYT, разположена върху гранитна основа, може да осигури стабилна опора и точно позициониране на литографското оборудване, да гарантира, че точността на позициониране на масата за пластини в процеса на експониране достига нанометрово ниво, ефективно да намали отклонението на шаблона, причинено от вибрации и термична деформация, и да подобри точността на производство и добива на чипа.
Инспекция на пластината: След завършване на производството на пластината, тя трябва да бъде инспектирана с висока прецизност, за да се открият малки дефекти и дефекти. XYT прецизната платформа за активно вибрационно изолиране може да носи оборудване за откриване, като например електроннолъчев микроскоп, атомно-силов микроскоп и др., за да поддържа стабилно движение и точно позициониране по време на процеса на откриване, така че оборудването за откриване да може точно да сканира повърхността на пластината, да подобри разделителната способност и точността на откриване.
Производство на оптични инструменти
Шлайфане и полиране на лещи: В производствения процес на оптични лещи е необходимо лещите да се шлайфат и полират с висока прецизност, за да се получат добри оптични свойства. XYT прецизната платформа за активно изолиране на вибрациите може прецизно да контролира пътя на движение на шлифовъчните и полиращите инструменти, докато гранитната основа може да изолира външните вибрации, да намали въздействието им върху точността на обработка, за да гарантира, че плоскостта и завършеността на повърхността на лещата отговарят на проектните изисквания.
Сглобяване на оптична система: В процеса на сглобяване на оптичната система, различни оптични компоненти трябва да бъдат прецизно инсталирани на определено място, за да се осигури точно разпространение на светлината и качество на изображението. XYT прецизната активна виброизолираща платформа за движение с гранитна основа може да осигури стабилна платформа за инсталиране и регулиране на оптични компоненти и да постигне високо прецизно подравняване и сглобяване на оптични компоненти чрез прецизен контрол на движението.
аерокосмически
Тест на инерционна навигационна система: Инерционната навигационна система е важно навигационно оборудване в аерокосмическата област и нейната точност пряко влияе върху точността на навигацията и безопасността на полетите на самолетите. В процеса на тестване на инерционна навигационна система е необходимо да се използва високопрецизна въртяща се платформа, за да се симулират различни състояния на движение на самолета. Прецизната активна виброизолираща платформа за движение XYT може да се използва като опорна платформа за въртящата се платформа. Чрез прецизен контрол на движението и добри характеристики на виброизолация, тя осигурява стабилна и точна среда на движение за теста на инерционната навигационна система и подобрява точността и надеждността на теста.
Обработка на лопатките на авиационни двигатели: Точността на обработка на лопатките на авиационни двигатели има важно влияние върху производителността и ефективността на двигателя. Прецизната платформа за движение с активна вибрационна изолация XYT може да се приложи към процеса на обработка на лопатките, като например петосен обработващ център, чрез прецизен контрол на пътя на движение на инструмента и поддържане на стабилна среда за обработка, за да се постигне високопрецизна обработка на лопатките, за да се гарантира, че точността на профила на лопатките и качеството на повърхността отговарят на проектните изисквания.
Научноизследователско тестване
Нанонаучни изследвания: В нанонаучните изследвания е необходимо да се управляват и наблюдават наномащабни обекти, като например подготовката на наноматериали и сглобяването на наноустройства. Гранитната основа на прецизната активна виброизолационна платформа за движение XYT може да осигури точност на позициониране на субмикронно или дори нано ниво, да осигури стабилна и точна експериментална платформа за нанонаучни изследвания и да помогне на учените да изследват по-добре мистериите на наносвета.
Биомедицинско изобразяване: В биомедицинската област, като флуоресцентна микроскопия, конфокална микроскопия и други устройства за изобразяване, за да се получат биологични изображения с висока резолюция, са необходими прецизно позициониране и стабилно изобразяване на пробата. XYT прецизната платформа за активно вибрационно изолиране може да пренася биологични проби, да намалява вибрациите и дрейфа на пробите чрез прецизен контрол на движението и добри вибрационни характеристики, да подобрява качеството и точността на изобразяването и да помага на биомедицинските изследователи да провеждат задълбочени изследвания на клетки, тъкани и други микроскопични структури.
Време на публикуване: 11 април 2025 г.