Гранитът е често използван материал в полупроводниковата индустрия заради отличните си механични свойства, термична стабилност и нисък коефициент на термично разширение. Въпреки това, с непрекъснато нарастващото търсене на по-висока точност и производителност, алтернативните материали се превърнаха в жизнеспособни опции за производство на компоненти на полупроводниково оборудване. В тази статия ще проучим някои от алтернативните материали за гранитни части в оборудване за полупроводници и ще сравним техните предимства и недостатъци.
Алтернативни материали за гранитни части
1. Стъклени керамични материали
Стъклените-керамични материали, като Zerodur и Cervit, са получили широко използване в полупроводниковата индустрия поради ниския си коефициент на термично разширение, който е близо до този на силиций. Следователно тези материали могат да осигурят по -добра термична стабилност и подобрена прецизност в процеса на производство на полупроводници. По -специално Zerodur има висока степен на хомогенност и стабилност, което го прави подходящ за производството на литографско оборудване.
Предимства:
- Нисък коефициент на термично разширение
- Висока точност и стабилност
- Подходящ за приложения с висока температура
Недостатъци:
- По -висока цена в сравнение с гранита
- Сравнително крехко, може да представлява предизвикателства при обработката и обработката
2. Керамика
Керамичните материали, като алуминиев оксид (Al2O3), силициев карбид (SIC) и силициев нитрид (SI3N4), имат отлични механични свойства, високотемпературна устойчивост и нисък коефициент на термично разширение. Тези свойства правят керамиката идеални за части за полупроводници, които изискват висока топлинна стабилност и прецизност, като стадии на вафли и патронници.
Предимства:
- Висока термична стабилност и здравина
- Нисък коефициент на термично разширение
- Висока устойчивост на износване и химическа инертност
Недостатъци:
- може да бъде чупливо и предразположено към напукване, особено по време на обработка и работа
- Обработката и полирането на керамиката може да бъде предизвикателство и отнема време
3. Метали
Метални материали, като неръждаема стомана и титан, са били използвани за някои части за полупроводниково оборудване поради тяхната отлична обработка и висока якост. Те обикновено се използват в приложения, при които не се изисква висока топлинна стабилност, като камерни части, съединители и фуражи.
Предимства:
- Добра обработка и заваряемост
- Висока якост и пластичност
- Ниска цена в сравнение с някои от алтернативните материали
Недостатъци:
- Коефициент на висок термичен разширение
- Не е подходящ за приложения с висока температура поради проблеми с термичната експанзия
- податливи на корозия и замърсяване
Заключение:
В обобщение, докато гранитът е популярен избор за части за полупроводници, се появиха алтернативни материали, всеки с уникални предимства и недостатъци. Стъклените керамични материали са много прецизни и стабилни, но могат да бъдат чупливи. Керамиката е силна и има отлична термична стабилност, но също така може да бъде чуплива, което ги прави по -предизвикателни за производството. Металите са евтини, обработваеми и пластични, но имат по -висок коефициент на термично разширение и са податливи на корозия и замърсяване. Когато избирате материали за оборудване за полупроводници, е от съществено значение да се вземат предвид специфичните изисквания на приложението и да изберете материали, които балансират разходите, производителността и надеждността.
Време за публикация: март-19-2024