В областта на висококачественото производство и най-съвременните научни изследвания, прецизната платформа за плаващо движение с статично налягане и въздух е ключово оборудване за постигане на ултрапрецизна работа. Прецизната гранитна основа е основната поддържаща част на платформата и нейната производителност е тясно свързана с работната среда. Разбирането и спазването на тези екологични изисквания може не само да осигури високопрецизна работа на платформата, но и важна част от повишаването на конкурентоспособността на предприятието в свързани области, което е описано подробно по-долу.
1. Температура: прецизен контрол за осигуряване на размерна стабилност
Въпреки че гранитът е известен със своята стабилност, коефициентът му на термично разширение не е нула и малки температурни промени могат да повлияят на точността на размерите му. Най-общо казано, коефициентът на термично разширение на гранита е 5-7 ×10⁻⁶/℃. В сценария на приложение на прецизна статично-напорна въздушна плаваща платформа, тази лека промяна се усилва от платформата, което може да доведе до отклонение в точността на движение. Например, в процеса на производство на полупроводникови чипове, литографският процес, изискващ точност на позициониране на ниво данами, при колебание на околната температура от 1°C, дължината на страната от 1 метър гранитна основа може да доведе до 5-7 микрона линейно разширение или свиване, което е достатъчно, за да доведе до отклонение в литографския модел на чипа и да намали добива. Следователно, идеалната работна среда за прецизна статично-напорна въздушна плаваща платформа, оборудвана с прецизна гранитна основа, трябва да бъде строго контролирана на 20°C ±1°C. Предприятията могат да инсталират високопрецизна климатична система с постоянна температура, да наблюдават непрекъснато и точно да регулират околната температура, да поддържат стабилността на размера на гранитната основа, за да гарантират високопрецизна работа на платформата.
2. влажност: разумен контрол, защита на базовата производителност
Влажността също има значително влияние върху прецизните гранитни основи. В среда с висока влажност гранитът лесно абсорбира водни пари и може да се образува конденз по повърхността, което не само ще попречи на нормалната работа на системата за въздушна флотация, но и ще доведе до дългосрочна ерозия на гранитната повърхност, намалявайки нейната точност и експлоатационен живот. Вземайки за пример цеха за шлифоване на оптични лещи, ако влажността е по-висока от 60% относителна влажност за дълго време, водните пари, адсорбирани върху повърхността на гранитната основа, ще разрушат равномерността на филма на въздушната флотация, което ще доведе до намаляване на точността на шлифоване на лещите и повърхностни дефекти. Следователно, относителната влажност на работната среда трябва да се контролира между 40%-60% относителна влажност. Предприятията могат да използват влагоабсорбатори, сензори за влажност и друго оборудване, за да наблюдават и контролират влажността в реално време, да създават подходяща среда за влажност за прецизната гранитна основа и да осигуряват стабилна работа на прецизната платформа за плаващо движение с въздух под статично налягане.
3. чистота: строг контрол, елиминиране на смущенията от частици
Праховите частици са „враг“ на прецизната платформа за движение с поплавък под статично налягане и нанасят големи щети на прецизната гранитна основа. След като малките частици влязат в междината на газовия филм между плъзгача на газовия поплавък и гранитната основа, те могат да разрушат равномерността на газовия филм, да увеличат триенето и дори да надраскат повърхността на основата, което сериозно влияе върху точността на движение на платформата. В цеха за ултрапрецизна обработка на аерокосмически части, ако праховите частици от въздуха попаднат върху гранитната основа, траекторията на движение на обработващия инструмент може да се отклони, което да повлияе на точността на обработка на частите. Следователно, работната зона трябва да се поддържа много чиста и да достигне стандарт за чистота от 10 000 или дори по-висок. Предприятията могат да филтрират праховите частици във въздуха, като инсталират високоефективни въздушни филтри (HEPA) и изискват от персонала да носи дрехи без прах, калъфи за обувки и др., за да се намали прахът, внасян от хората, и да се поддържа високопрецизна работна среда на гранитната основа и прецизната платформа за движение с поплавък под статично налягане.
4. Вибрация: Ефективна изолация за създаване на гладко пространство
Външните вибрации сериозно ще повлияят на прецизността на прецизната платформа за плаване със статично налягане и въздух. Въпреки че прецизната гранитна основа има известен капацитет за затихване на вибрациите, вибрациите с висока якост все пак могат да нарушат буферния си лимит. Вибрациите, генерирани от движението около фабриката и работата на голямо механично оборудване, се предават към гранитната основа през земята, което ще повлияе на точността на движението на платформата. При висококачествените CMM вибрациите могат да доведат до нестабилен контакт между измервателната сонда и измервания детайл, което води до отклонение в данните от измерването. За да се реши този проблем, е необходимо да се предприемат ефективни мерки за изолиране на вибрациите, като например полагане на виброизолационни подложки в зоната за монтаж на оборудването, изграждане на виброизолираща основа или използване на активна система за изолиране на вибрациите за активно компенсиране на външните вибрации и създаване на тиха и стабилна работна среда за прецизната гранитна основа и прецизната платформа за плаване със статично налягане и въздух.
Отговаряйте на горепосочените екологични изисквания, за да се възползвате максимално от предимствата на прецизната гранитна основа в прецизната платформа за плаващо движение с статично налягане и въздух, за да гарантирате, че платформата предоставя високопрецизни и стабилни услуги за управление на движението за различни индустрии. Ако предприятията могат да обърнат внимание на тези детайли в производствената среда, те ще се възползват от възможността в прецизното производство, научните изследвания и други области, ще повишат своята конкурентоспособност и ще постигнат устойчиво развитие.
Време на публикуване: 10 април 2025 г.