Гранитните компоненти са широко използвани в процеса на производство на полупроводници поради отличните си характеристики, като превъзходно повърхностно покритие, висока твърдост и отлично амортизиране на вибрациите. Гранитните компоненти са от съществено значение за оборудването за производство на полупроводници, включително литографски машини, полиращи машини и метрологични системи, тъй като осигуряват прецизно позициониране и стабилност по време на производствения процес. Въпреки всички предимства на използването на гранитни компоненти, те също имат дефекти. В тази статия ще обсъдим дефектите на гранитните компоненти за продукти от процеса на производство на полупроводници.
Първо, гранитните компоненти имат висок коефициент на термично разширение. Това означава, че те се разширяват значително при термично напрежение, което може да причини проблеми по време на производствения процес. Процесът на производство на полупроводници изисква висока прецизност и точност на размерите, които могат да бъдат компрометирани поради термично напрежение. Например, деформацията на силициевите пластини поради термично разширение може да причини проблеми с подравняването по време на литографията, което може да компрометира качеството на полупроводниковото устройство.
Второ, гранитните компоненти имат дефекти в порьозността, които биха могли да причинят течове във вакуум в процеса на производство на полупроводници. Наличието на въздух или друг газ в системата може да причини замърсяване на повърхността на пластината, което би довело до дефекти, които биха могли да повлияят на производителността на полупроводниковото устройство. Инертни газове като аргон и хелий биха могли да проникнат в порестите гранитни компоненти и да създадат газови мехурчета, които биха могли да попречат на целостта на вакуумния процес.
Трето, гранитните компоненти имат микрофрактури, които биха могли да повлияят на прецизността на производствения процес. Гранитът е крехък материал, който може да развие микрофрактури с течение на времето, особено когато е изложен на постоянни цикли на напрежение. Наличието на микрофрактури може да доведе до размерна нестабилност, причинявайки значителни проблеми по време на производствения процес, като например подравняване на литографията или полиране на пластините.
Четвърто, гранитните компоненти имат ограничена гъвкавост. Процесът на производство на полупроводници изисква гъвкаво оборудване, което може да се адаптира към различни промени в процеса. Гранитните компоненти обаче са твърди и не могат да се адаптират към различни промени в процеса. Следователно, всякакви промени в производствения процес налагат премахването или подмяната на гранитните компоненти, което води до престой и влияе върху производителността.
Пето, гранитните компоненти изискват специално боравене и транспортиране поради теглото и крехкостта си. Гранитът е плътен и тежък материал, който изисква специализирано оборудване за обработка, като кранове и повдигачи. Освен това, гранитните компоненти изискват внимателно опаковане и транспортиране, за да се предотврати повреда по време на транспортиране, което води до допълнителни разходи и време.
В заключение, гранитните компоненти имат някои недостатъци, които биха могли да повлияят на качеството и производителността на продуктите от производствения процес на полупроводници. Тези дефекти могат да бъдат сведени до минимум чрез внимателно боравене и поддръжка на гранитните компоненти, включително периодична проверка за микрофрактури и дефекти на порьозност, правилно почистване за предотвратяване на замърсяване и внимателно боравене по време на транспортиране. Въпреки дефектите, гранитните компоненти остават жизненоважна част от производствения процес на полупроводници поради превъзходното им повърхностно покритие, високата твърдост и отличното амортизиране на вибрациите.
Време на публикуване: 05 декември 2023 г.