Гранитните компоненти са широко използвани в процеса на производство на полупроводници поради техните отлични характеристики като превъзходно покритие на повърхността, висока твърдост и отлично затихване на вибрации. Гранитните компоненти са от съществено значение за оборудването за производство на полупроводници, включително литографски машини, полиращи машини и метрологични системи, тъй като те осигуряват прецизно позициониране и стабилност по време на производствения процес. Въпреки всички предимства на използването на гранитни компоненти, те също имат дефекти. В тази статия ще обсъдим дефектите на гранитните компоненти за продуктите за производство на полупроводници.
Първо, гранитните компоненти имат висок коефициент на термично разширение. Това означава, че те се разширяват значително при термичен стрес, което може да причини проблеми по време на производствения процес. Процесът на производство на полупроводници изисква висока точност и точност на размерите, които биха могли да бъдат компрометирани поради топлинно напрежение. Например, деформацията на силициевите вафли поради термично разширяване може да причини проблеми с подравняването по време на литографията, което може да компрометира качеството на полупроводниковото устройство.
Второ, гранитните компоненти имат дефекти на порьозността, които биха могли да причинят течове на вакуум в процеса на производство на полупроводници. Наличието на въздух или друг газ в системата може да причини замърсяване на повърхността на вафла, което води до дефекти, които могат да повлияят на производителността на полупроводниковото устройство. Инертните газове като аргон и хелий могат да проникнат в порести гранитни компоненти и да създадат газови мехурчета, които биха могли да попречат на целостта на вакуумния процес.
Трето, гранитните компоненти имат микрофрактури, които биха могли да попречат на прецизността на производствения процес. Гранитът е крехък материал, който може да развие микрофрактури с течение на времето, особено когато е изложен на постоянен стрес цикли. Наличието на микрофрактури може да доведе до нестабилност на размерите, причинявайки значителни проблеми по време на производствения процес, като привеждане на литография или полиране на вафли.
Четвърто, гранитните компоненти имат ограничена гъвкавост. Процесът на производство на полупроводници изисква гъвкаво оборудване, което може да побере различни промени в процеса. Въпреки това, гранитните компоненти са твърди и не могат да се адаптират към различни промени в процеса. Следователно, всякакви промени в производствения процес налагат отстраняване или подмяна на гранитните компоненти, което води до престой и влияе върху производителността.
Пето, гранитните компоненти изискват специално управление и транспортиране поради теглото и крехкостта си. Гранитът е плътен и тежък материал, който изисква специализирано оборудване за обработка като кранове и повдигачи. Освен това, гранитните компоненти изискват внимателно опаковане и транспортиране, за да се предотврати щетите по време на изпращане, което води до допълнителни разходи и време.
В заключение, гранитните компоненти имат някои недостатъци, които биха могли да повлияят на качеството и производителността на продуктите за производство на полупроводници. Тези дефекти могат да бъдат сведени до минимум чрез внимателно боравене и поддържане на гранитни компоненти, включително периодична проверка за микрофрактури и дефекти на порьозността, правилно почистване за предотвратяване на замърсяване и внимателно боравене по време на транспортиране. Въпреки дефектите, гранитните компоненти остават жизненоважна част от процеса на производство на полупроводници поради превъзходния им повърхностно покритие, висока коравина и отлично затихване на вибрации.
Време за публикация: DEC-05-2023