Производство на полупроводници: В процеса на производство на чипове, фотолитографията трябва да прехвърли прецизно шаблона на веригата върху пластината. Гранитната основа на едноосния въздушно-плаващ ултрапрецизен модул за движение може да осигури високо прецизно позициониране и стабилна опора за масата за пластини в литографското оборудване. Например, ASML и други международно известни производители на литографски машини използват въздушно-плаващи модули за движение с гранитна основа в своето висококачествено оборудване, което може да контролира точността на позициониране на пластината на нанометрово ниво, за да гарантира точността на литографския шаблон, като по този начин подобрява интеграцията и производителността на чипа.
Област на прецизно измерване: CMM е прецизно измервателно оборудване, често използвано в промишленото производство, което се използва за измерване на размера, формата и точността на позицията на детайла. Ултрапрецизният модул за движение на едноосния въздушен поплавък върху гранитна основа може да се използва като платформа за движение на CMM, която може да реализира високопрецизно линейно движение и да осигури стабилна траектория на движение на измервателната сонда. Например, високият клас CMM на Hexagon използва тази комбинация за измерване на големи и сложни части с точност на измерване до микронно ниво, осигурявайки силна гаранция за контрол на качеството на частите в автомобилната, аерокосмическата и други индустрии.
Аерокосмическа област: При обработката и тестването на аерокосмически части се изисква висока прецизност. Например, обработката на лопатките на самолетни двигатели изисква прецизен контрол на траекторията на движение на инструмента, за да се гарантира точността на профила на лопатката. Гранитната основа на едноосния ултрапрецизен модул за движение с въздушна плувка може да се приложи към петосен обработващ център и друго оборудване, за да осигури високопрецизен контрол на движението на инструмента и да гарантира, че точността на обработка на лопатката отговаря на проектните изисквания. В същото време, в процеса на сглобяване на авиационния двигател е необходимо да се използва и високопрецизно измервателно оборудване, за да се определи точността на сглобяване на частите. Модулът за движение с въздушна плувка на гранитната основа може да осигури стабилна опора и точно движение на измервателното оборудване, за да се гарантира качеството на сглобяване.
Област на оптичен контрол: В процеса на производство и тестване на оптични компоненти е необходимо да се извършва високопрецизно позициониране и измерване на оптични компоненти. Например, при производството на високопрецизни оптични компоненти, като огледала и лещи, е необходимо да се използват интерферометри и друго оборудване за определяне на точността на формата на повърхността. Гранитната основа на едноосния въздушно-плаващ ултрапрецизен модул за движение може да се използва като платформа за движение на интерферометъра, което може да реализира субмикронна точност на позициониране и да осигури точна поддръжка на данни за откриване на оптични компоненти. Освен това, в оборудването за лазерна обработка е необходимо да се използва и високопрецизна платформа за движение, за да се контролира траекторията на сканиране на лазерния лъч. Гранитната основа на въздушно-плаващия модул за движение може да отговори на това изискване, за да се постигне високопрецизна лазерна обработка.
Време на публикуване: 07 април 2025 г.