Гранитът е вид твърда скала, която се е превърнала в незаменим материал в производството на полупроводници. Свойствата му позволяват да издържа на високи температури, което го прави идеален за употреба в различни етапи от производствените процеси на полупроводникови устройства. В резултат на това, гранитният монтаж е намерил широки области на приложение в продуктите за производство на полупроводникови устройства.
Едно от най-използваните приложения на гранитния монтаж е в изграждането на високопрецизни машинни инструменти. Твърдостта и стабилността на гранита позволяват производството на прецизни и точни инструменти с малка или никаква деформация. Това ниво на прецизност е необходимо в процесите на производство на полупроводници, като например йонната имплантация, където лъчът трябва да бъде точно насочен върху пластината.
Друго приложение на гранитния монтаж в производството на полупроводници е в изграждането на метрологично оборудване. Метрологичното оборудване е жизненоважно в процесите на производство на полупроводници, тъй като измерва и проверява точността на произвежданите устройства. Размерната стабилност на гранита, ниското му термично разширение и отличните му свойства за амортизиране на вибрациите го правят предпочитан материал при изграждането на метрологично оборудване. Това включва големи гранитни повърхности, използвани при подготовката и проверката на пластини.
Оптичните маси са още една област на широко приложение на гранитния монтаж в полупроводниковата индустрия. Оптичните маси се използват при тестване на оптични устройства, като например вълноводи за комуникация на данни. Плоскостта на гранита, ниското термично разширение, високата твърдост и механичната стабилност му позволяват да осигури изключително стабилна повърхност за монтаж и позициониране на оптика. Гранитните оптични маси могат да осигурят стабилността и твърдостта, необходими за извършване на точно и прецизно тестване на оптични устройства.
Гранитът намира приложение и в конструирането на патронници и платформи за пластини. По време на производствения процес на полупроводници, прецизното подравняване и контролът на позицията са от решаващо значение. Патронниците за пластини, които държат пластините на място по време на обработка, трябва да поддържат точност на позицията, като същевременно издържат на високи температури и вакуумни условия. Гранитът има отлична размерна стабилност в широк диапазон от температури и може да издържи на вакуумни условия, което го прави идеален за конструирането на патронници за пластини. Платформите, използвани при движението на пластините от една позиция на друга, преминават през циклична последователност от движения по време на производствения процес на полупроводници. Гранитният монтаж осигурява стабилност и издръжливост, необходими за издържане на непрекъснатите и повтарящи се цикли на движение.
В обобщение, приложението на гранитния монтаж в производството на полупроводници е широкообхватно. Неговите свойства като размерна стабилност, ниско термично разширение, висока твърдост и амортизация на вибрациите го правят идеален материал за използване в различни етапи от производствените процеси на полупроводникови устройства. От конструирането на високопрецизни машини и метрологично оборудване до оптични маси, платформи и патронници за пластини, свойствата на гранита играят решаваща роля за осигуряване на стабилност, точност и повторяемост, необходими за постигане на висококачествено производство на полупроводникови устройства.
Време на публикуване: 06 декември 2023 г.