В полупроводниковата индустрия, инспекцията на пластини е ключово звено за гарантиране на качеството и производителността на чипа, а точността и стабилността на инспекционната маса играят решаваща роля в резултатите от откриването. Гранитната основа със своите уникални характеристики се превръща в идеалния избор за маса за инспекция на полупроводникови пластини, следвайки многоизмерния анализ за вас.
Първо, измерението на гаранцията за прецизност
1. Ултрависока плоскост и праволинейност: Гранитната основа се обработва чрез усъвършенствана технология за обработка, като плоскостта може да достигне ±0,001 мм/м или дори по-висока точност, а праволинейността също е отлична. В процеса на инспекция на пластината, високопрецизната равнина осигурява стабилна опора за пластината и осигурява точен контакт между сондата на инспекционното оборудване и споените съединения на повърхността на пластината.
2. Много нисък коефициент на термично разширение: производството на полупроводници е чувствително към температурни промени, а коефициентът на термично разширение на гранита е изключително нисък, обикновено около 5×10⁻⁶/℃. Когато платформата за детекция работи, дори ако температурата на околната среда се колебае, размерът на гранитната основа се променя много малко. Например, в цех с висока температура през лятото, температурата на платформата за детекция с обща метална основа може да доведе до изместване на относителното положение на пластината и оборудването за детекция, което влияе върху точността на детекцията; Платформата за детекция с гранитна основа може да поддържа стабилност, да гарантира точността на относителното положение на пластината и оборудването за детекция по време на процеса на детекция и да осигури стабилна среда за високопрецизно детектиране.
Второ, измерение на стабилността
1. Стабилна структура и устойчивост на вибрации: След милиони години геоложки процеси, вътрешната структура на гранита е плътна и равномерна. В сложната среда на фабрика за полупроводници, вибрациите, генерирани от работата на периферно оборудване и движещия се персонал, се абсорбират ефективно от гранитната основа.
2. Точност при дългосрочна употреба: в сравнение с други материали, гранитът има висока твърдост, силна износоустойчивост, а твърдостта по Моос може да достигне 6-7. Повърхността на гранитната основа не се износва лесно при често зареждане, разтоварване и инспекция на пластини. Според действителното използване на статистически данни, използването на тестова маса за гранитна основа, дори след 5000 часа непрекъсната работа, точността на плоскост и праволинейност може да се поддържа на повече от 98% от първоначалната точност, намалявайки износването на оборудването, причинено от редовното калибриране и поддръжка, намалявайки оперативните разходи на бизнеса, за да се гарантира дългосрочна стабилност на тестовата работа.
Трето, чисто и анти-смущения измерение
1. Ниско ниво на прах: средата за производство на полупроводници трябва да бъде много чиста, а самият гранит е стабилен и не е лесно да образува прахови частици. По време на работа на тестовата платформа се избягва генерирането на прах от основата, който може да замърси пластината, и се намалява рискът от късо съединение и отворена верига, причинени от прахови частици. В зоната за инспекция на пластините на безпрашния цех концентрацията на прах около масата за инспекция на гранитната основа винаги се контролира до изключително ниско ниво, което отговаря на строгите изисквания за чистота в полупроводниковата индустрия.
2. Без магнитни смущения: оборудването за детектиране е чувствително към електромагнитната среда, а гранитът е немагнитен материал, който не пречи на електронния сигнал на оборудването за детектиране. При използване на електроннолъчево детектиране и други технологии за тестване, които изискват изключително висока електромагнитна среда, гранитната основа осигурява стабилно предаване на електронния сигнал на оборудването за детектиране и гарантира точността на резултатите от теста. Например, когато пластината се тества за високо прецизни електрически характеристики, немагнитната гранитна основа избягва смущения в сигналите за ток и напрежение на детектиране, така че данните от детектирането вярно отразяват електрическите характеристики на пластината.
Време на публикуване: 31 март 2025 г.