Въпреки че една гранитна платформа може да изглежда като обикновена каменна плоча, критериите за избор се променят драстично при преминаване от обикновени индустриални приложения към висококачествена оптична инспекция и метрология. За ZHHIMG® доставката на прецизни компоненти на световни лидери в полупроводниковите и лазерните технологии означава да признаят, че платформата за оптични измервания не е просто основа – тя е неразделна, неотменима част от самата оптична система.
Изискванията за оптичен контрол – които включват изображения с голямо увеличение, лазерно сканиране и интерферометрия – се определят от необходимостта от елиминиране на всички източници на шум от измерването. Това води до фокусиране върху три специални свойства, които отличават истинската оптична платформа от стандартната индустриална такава.
1. Превъзходна плътност за несравнимо амортизиране на вибрациите
За стандартни индустриални CNC основи, чугунът или типичният гранит могат да предложат достатъчна твърдост. Оптичните системи обаче са изключително чувствителни към малки отклонения, причинени от външни вибрации от фабрично оборудване, климатични системи или дори отдалечен трафик.
Именно тук материалознанието става от първостепенно значение. Оптичната платформа изисква гранит с изключително присъщо материално затихване. ZHHIMG® използва своя патентован черен гранит ZHHIMG® (≈ 3100 kg/m³). Този материал с ултрависока плътност, за разлика от по-нискокачествените гранитни или мраморни заместители, притежава кристална структура, която е изключително ефективна при разсейване на механичната енергия. Целта е не само да се намалят вибрациите, но и да се гарантира, че основата остава напълно тих механичен под, минимизирайки относителното движение между обектива и проверяваната проба на субмикронно ниво.
2. Изключителна термична стабилност за борба с дрейфа
Стандартните индустриални платформи толерират малки промени в размерите; една десета от градуса по Целзий може да не е от значение за пробиване. Но в оптичните системи, които извършват прецизни измервания за продължителни периоди, всяко термично отклонение в геометрията на основата въвежда систематична грешка.
За оптична инспекция, платформата трябва да действа като термичен поглътител с изключително нисък коефициент на термично разширение (CTE). Превъзходната маса и плътност на черния гранит ZHHIMG® осигуряват необходимата термична инерция, за да устоят на минимални разширения и свивания, които могат да възникнат в климатизирано помещение. Тази стабилност гарантира, че калибрираното фокусно разстояние и равнинното подравняване на оптичните компоненти остават фиксирани, гарантирайки целостта на измерванията в продължение на часове – неоспорим фактор за инспекция на пластини с висока резолюция или метрология на плоски дисплеи.
3. Постигане на нано-равнинна плоскост и геометрична прецизност
Най-видимата разлика е изискването за плоскост. Докато обикновена индустриална основа може да отговаря на плоскост от степен 1 или степен 0 (измерена в няколко микрона), оптичните системи изискват точност в нанометровия диапазон. Това ниво на геометрично съвършенство е необходимо, за да се осигури надеждна референтна равнина за линейни платформи и системи за автоматично фокусиране, които работят на принципа на светлинната интерференция.
Постигането и сертифицирането на плоскост на нанометрово ниво изисква съвсем различен производствен подход. Той включва високоспециализирани техники, използващи съвременни машини като шлифовъчните машини Taiwan Nanter, и се потвърждава от сложно метрологично оборудване, като например лазерните интерферометри Renishaw. Този процес трябва да се извършва в ултрастабилна среда, като например климатизираните работилници на ZHHIMG® с амортизирани вибрации, където дори фините движения на въздуха са сведени до минимум.
По същество, изборът на прецизна гранитна платформа за оптична инспекция е решение за инвестиране в компонент, който активно гарантира прецизността на самото оптично измерване. Това изисква партньорство с производител, който разглежда сертифицирането по ISO 9001 и цялостната проследимост на размерите не като допълнителни функции, а като основни изисквания за навлизане в света на ултрапрецизната оптика.
Време на публикуване: 21 октомври 2025 г.