Гранитното легло е важен компонент в различни полупроводникови устройства. Като силно стабилен и твърд материал, гранитът се използва широко като основа за оборудване за обработка на полупроводници. Характеризира се с ниския си коефициент на термично разширение, стабилността на високата размера и отличните механични свойства. Поради тези свойства, гранитното легло се използва най -често в три различни вида полупроводникови устройства - метрологично оборудване, литографско оборудване и оборудване за проверка.
Метрологичното оборудване се използва за измерване и откриване на критичните размери на полупроводниковите устройства. Той играе решаваща роля за поддържане на качеството и последователността на процеса на производство на полупроводници. Метрологичното оборудване включва инструменти като оптични микроскопи, електронни микроскопи и атомни силови микроскопи (AFM). Тъй като работата на тези измервателни инструменти зависи от тяхната стабилност, прецизност и устойчивост на вибрации, гранитът е идеалният избор за техния материал за леглото. Еднородността и стабилността на гранитното легло осигуряват стабилна платформа за инструментите, което повишава тяхната точност и надеждност.
Литографското оборудване се използва за направата на моделите на микрочип върху вафлата. Процесът на литография изисква високо ниво на прецизност и точност, за да се създадат сложни вериги и да се подобри производителността на чипа. Литографското оборудване включва стъпка и скенерни системи, които използват светлина за прехвърляне на изображения върху вафлата. Тъй като процесът на литография е силно чувствителен към вибрации и топлинни промени, висококачественото легло е от съществено значение, за да се гарантира стабилността и повторяемостта на процеса на литография. Гранитните легла осигуряват необходимата стабилност и строги вибрационни затихнали характеристики на литографските системи. Гранитното легло позволява на стъпковия или скенер система да поддържа прецизни пространствени отношения, гарантиращи висока точност и качество на крайния продукт.
Инспекционното оборудване се използва за откриване на дефекти в устройствата за полупроводници. Инспекционното оборудване включва системи като лазерни сканиращи микроскопи, електронни микроскопи и оптични микроскопи. С необходимостта тези устройства да бъдат много точни, стабилни и устойчиви на вибрации гранитните легла са идеалният материал. Механичните свойства на Granite и стабилността на размерите помагат за изолация на вибрациите, което повишава точността на изхода на инспекционното оборудване.
В заключение, гранитното легло е от решаващо значение за полупроводниковата индустрия и се използва широко в различни видове оборудване. Неговите уникални свойства като стабилност на размерите, нисък коефициент на термично разширяване и отлична механична стабилност правят гранита идеалния избор за материала на леглото на полупроводниково оборудване. Тъй като висококачественото гранитно легло осигурява необходимата устойчивост на стабилност, прецизност и вибрация срещу полупроводниковото оборудване, в крайна сметка подобрява качеството на крайния продукт. Следователно използването на гранитно легло в полупроводниково оборудване със сигурност ще продължи с години напред.
Време за публикация: APR-03-2024