Гранитното легло е важен компонент в различни полупроводникови устройства. Като високостабилен и твърд материал, гранитът се използва широко като основа за оборудване за обработка на полупроводници. Характеризира се с нисък коефициент на термично разширение, висока размерна стабилност и отлични механични свойства. Поради тези свойства, гранитното легло се използва най-често в три различни вида полупроводникови устройства - метрологично оборудване, литографско оборудване и оборудване за инспекция.
Метрологичното оборудване се използва за измерване и откриване на критичните размери на полупроводниковите устройства. То играе ключова роля за поддържане на качеството и постоянството на производствения процес на полупроводници. Метрологичното оборудване включва инструменти като оптични микроскопи, електронни микроскопи и атомно-силови микроскопи (АСМ). Тъй като производителността на тези измервателни инструменти зависи от тяхната стабилност, прецизност и устойчивост на вибрации, гранитът е идеалният избор за материал за тяхното легло. Еднородността и стабилността на гранитното легло осигуряват стабилна платформа за инструментите, което повишава тяхната точност и надеждност.
Литографско оборудване се използва за създаване на шаблони на микрочипове върху пластината. Процесът на литография изисква високо ниво на прецизност и точност, за да се създадат сложни схеми и да се подобри производителността на чипа. Литографското оборудване включва стъпкови и сканиращи системи, които използват светлина за прехвърляне на изображения върху пластината. Тъй като литографският процес е силно чувствителен към вибрации и термични промени, висококачественото легло е от съществено значение, за да се гарантира стабилността и повторяемостта на литографския процес. Гранитните легла осигуряват необходимата стабилност и строги показатели за амортизиране на вибрациите за литографските системи. Гранитното легло позволява на стъпковата или сканиращата система да поддържа прецизни пространствени взаимоотношения, осигурявайки висока точност и качество на крайния продукт.
Оборудването за инспекция се използва за откриване на дефекти в полупроводниковите устройства. Оборудването за инспекция включва системи като лазерни сканиращи микроскопи, електронни микроскопи и оптични микроскопи. Тъй като е необходимо тези устройства да бъдат високоточни, стабилни и устойчиви на вибрации, гранитните легла са идеалният материал. Механичните свойства и размерната стабилност на гранита спомагат за изолацията на вибрациите, което повишава точността на резултатите от инспекционното оборудване.
В заключение, гранитното легло е от решаващо значение за полупроводниковата индустрия и се използва широко в различни видове оборудване. Неговите уникални свойства, като размерна стабилност, нисък коефициент на термично разширение и отлична механична стабилност, правят гранита идеалния избор за материал за легло на полупроводниково оборудване. Тъй като висококачественото гранитно легло осигурява необходимата стабилност, прецизност и устойчивост на вибрации на полупроводниковото оборудване, то в крайна сметка подобрява качеството на крайния продукт. Следователно, използването на гранитно легло в полупроводниковото оборудване със сигурност ще продължи в продължение на години.
Време на публикуване: 03 април 2024 г.