Гранитните материали се използват широко в полупроводниковата индустрия поради отличните си характеристики, като висока стабилност, ниско термично разширение и висока устойчивост на корозия. Тези свойства правят гранита идеален материал за изграждане на високопрецизни компоненти в система за трансфер на пластини.
В процеса на производство на полупроводници, системата за трансфер на пластини играе ключова роля в транспортирането им през различните етапи от производствения процес. Прецизността и точността са основните изисквания за тези системи, тъй като дори малки отклонения могат да застрашат целия процес. Следователно, компонентите в системата за трансфер на пластини трябва да бъдат изработени от висококачествени материали, а гранитът отговаря на тези критерии.
Някои части от системата за трансфер на пластини, изработени от гранитни материали, включват:
1. Маса за вакуумен патронник
Вакуумната маса за захващане се използва за задържане на пластината по време на процеса и трябва да има стабилна повърхност, за да се гарантира, че пластината няма да бъде повредена. Гранитът е идеален материал за изработката на тази маса, защото има плоска, непореста повърхност, която осигурява висока стабилност и прецизност. Освен това, гранитът има нисък коефициент на термично разширение, което го прави устойчив на температурни промени, които биха могли да причинят промени в размерите на пластината.
2. Етап на въздушно носене
Въздушната платформа се използва за транспортиране на пластината през различните етапи на производствения процес. Платформата е проектирана да осигурява движение без триене, което изисква висока прецизност и стабилност. Гранитът се използва в това приложение, защото е твърд и твърд камък и е устойчив на деформация и износване с течение на времето.
3. Линейни водачи за движение
Линейните водачи се използват за насочване на платформата с въздушни лагери и те трябва да бъдат точно позиционирани, за да се сведат до минимум грешките. За изработката на тези водачи е използван гранит, защото той има отлична механична стабилност и здравина. Материалът е и устойчив на корозия, което гарантира дълготрайността на направляващата система.
4. Метрологично оборудване
Метрологично оборудване се използва за измерване на размерите и свойствата на пластината по време на производствения процес. Гранитът е идеален материал за изграждането на това оборудване, тъй като има висока твърдост, ниско разширение и минимална деформация под натоварване. Освен това, термичната стабилност на гранита гарантира, че метрологичното оборудване остава стабилно и точно във времето.
В заключение, полупроводниковата индустрия разчита на прецизност и точност, а гранитните материали са се доказали като високонадеждни и стабилни в производствения процес. Тъй като много критични компоненти в системата за трансфер на пластини изискват висока стабилност, прецизност и ниско термично разширение, инженерите са се обърнали към гранитни материали, за да отговорят на тези критични изисквания.
Време на публикуване: 19 март 2024 г.