Гранитните материали се използват широко в полупроводниковата индустрия поради техните отлични характеристики, като висока стабилност, ниско термично разширение и висока устойчивост на корозия. Тези свойства правят гранита идеален материал за изграждане на компоненти с висока точност в система за пренос на вафли.
В процеса на производство на полупроводници системата за прехвърляне на вафли играе критична роля за транспортирането на вафли през различни етапи на производствения процес. Прецизността и точността са основните изисквания за тези системи, тъй като дори леките отклонения биха могли да застрашат целия процес. Следователно компонентите в системата за прехвърляне на вафли трябва да бъдат направени от висококачествени материали, а гранитът отговаря на тези критерии.
Някои части от системата за пренос на вафли, които са направени от гранитни материали, включват:
1. Вакуумна патрон
Вакуумната патронник се използва за задържане на вафлата по време на процеса и тя трябва да има стабилна повърхност, за да се гарантира, че вафлата не е повредена. Гранитът е идеален материал за приготвяне на тази маса, тъй като има плоска, непорьозна повърхност, която осигурява висока стабилност и прецизност. Освен това, гранитът има нисък коефициент на термично разширение, което го прави устойчив на температурни промени, които биха могли да причинят промени в размерите в вафлата.
2. Етап на въздух
Въздушният етап се използва за транспортиране на вафла през различни етапи на производствения процес. Етапът е проектиран, за да осигури движение без триене, което изисква висока точност и стабилност. Гранитът се използва в това приложение, тъй като е твърд и твърд камък и се издържа на деформация и износване с течение на времето.
3. Линейни водачи за движение
Линейните водачи за движение се използват за насочване на етапа на въздуха и те трябва да бъдат точно разположени, за да се сведе до минимум грешките. Гранитът се използва за изграждане на това ръководство, тъй като има отлична механична стабилност и здравина. Материалът също е устойчив на корозия, което гарантира дълголетието на водещата система.
4. Метрологично оборудване
Метрологичното оборудване се използва за измерване на размерите и свойствата на вафлата по време на производствения процес. Гранитът е идеален материал за изграждане на това оборудване, тъй като има висока твърдост, ниско разширяване и минимална деформация при натоварване. Освен това термичната стабилност на Granite гарантира, че метрологичното оборудване остава стабилно и точно с течение на времето.
В заключение, полупроводниковата индустрия разчита на прецизност и точност, а гранитните материали се оказаха силно надеждни и стабилни в производствения процес. С много критични компоненти в системата за пренос на вафли, изискващи висока стабилност, прецизност и ниско термично разширяване, инженерите са се обърнали към гранитни материали, за да отговорят на тези критични изисквания.
Време за публикация: март-19-2024