Гранитните материали са широко използвани в полупроводниковата индустрия поради техните отлични характеристики, като висока стабилност, ниско топлинно разширение и висока устойчивост на корозия.Тези свойства правят гранита идеален материал за изграждане на високопрецизни компоненти в система за трансфер на пластини.
В процеса на производство на полупроводници системата за прехвърляне на пластини играе критична роля при транспортирането на пластини през различни етапи от производствения процес.Прецизността и точността са основните изисквания за тези системи, тъй като дори малки отклонения могат да застрашат целия процес.Следователно компонентите в системата за трансфер на вафли трябва да бъдат направени от висококачествени материали и гранитът отговаря на тези критерии.
Някои части от системата за прехвърляне на вафли, които са направени от гранитни материали, включват:
1. Маса за вакуумни патронници
Масата с вакуумен патронник се използва за задържане на пластината по време на процеса и трябва да има стабилна повърхност, за да се гарантира, че пластината няма да бъде повредена.Гранитът е идеален материал за направата на тази маса, защото има равна, непореста повърхност, която осигурява висока стабилност и прецизност.Освен това гранитът има нисък коефициент на топлинно разширение, което го прави устойчив на температурни промени, които могат да причинят промени в размерите на пластината.
2. Въздушен етап
Етапът с въздух се използва за транспортиране на пластината през различни етапи от производствения процес.Сцената е проектирана да осигурява движение без триене, което изисква висока прецизност и стабилност.Гранитът се използва в това приложение, защото е твърд и твърд камък и е устойчив на деформация и износване с течение на времето.
3. Водачи за линейно движение
Водачите за линейно движение се използват за насочване на въздушно носещия етап и трябва да бъдат точно позиционирани, за да се сведат до минимум грешките.Гранитът е използван за изграждането на това ръководство, защото има отлична механична стабилност и здравина.Материалът е и устойчив на корозия, което гарантира дълготрайността на направляващата система.
4. Метрологично оборудване
Метрологичното оборудване се използва за измерване на размерите и свойствата на пластината по време на производствения процес.Гранитът е идеален материал за изграждането на това оборудване, тъй като има висока твърдост, ниско разширение и минимална деформация при натоварване.Освен това термичната стабилност на гранита гарантира, че метрологичното оборудване остава стабилно и точно във времето.
В заключение, полупроводниковата индустрия разчита на прецизност и точност, а гранитните материали са доказали своята висока надеждност и стабилност в производствения процес.С много критични компоненти в системата за прехвърляне на вафли, изискващи висока стабилност, прецизност и ниско термично разширение, инженерите се обърнаха към гранитни материали, за да отговорят на тези критични изисквания.
Време на публикуване: 19 март 2024 г