Гранитните легла са силно предпочитани при производството на оборудване за полупроводници поради отличните си свойства, като стабилност на високата размера, висока твърдост, ниско термично разширение, добри свойства на амортисьор и висока устойчивост на износване и абразия. Те се използват широко в няколко критични компонента в индустрията за производство на полупроводниково оборудване, като системи за проверка на вафли, системи за измерване на вафли, системи за обработка на вафли и други.
Системи за проверка на вафли
Системите за проверка на вафли използват гранитни легла, за да осигурят стабилна и плоска повърхност за проверка на полупроводникови вафли. Гранитните легла се използват като сценична платформа, която държи вафлата, претърпяла проверка. Плостата и твърдостта на гранитното легло осигуряват точна проверка, като същевременно минимизират щетите или замърсяването на вафлата. Гранитните легла също помагат за намаляване на ефектите на вибрациите на околната среда и други външни фактори.
Системи за измерване на вафли
В системите за измерване на вафли прецизността е от решаващо значение. Гранитните легла се използват широко за тази цел поради отличната им стабилност на размерите. Те осигуряват твърда основа за точното измерване на характеристиките на дебелината, формата и повърхността. Гранитните легла също са устойчиви на износване и абразия, което ги прави идеални за непрекъсната употреба за продължителен период.
Системи за обработка на вафли
Гранитните легла се използват и в системите за обработка на вафли. В тези системи гранитните легла се използват като прецизно ръководство за позициониране на вафлата по време на процеса на обработка. Високата скованост и плоскост на гранитното легло осигуряват точно и повтарящо се позициониране на вафлата, намалявайки риска от увреждане.
Други компоненти
Освен горните компоненти, гранитните легла се използват и в други критични части от производството на полупроводниково оборудване, като бази на сцената, поддържащи структури и други високо прецизни части. Високата размерена стабилност на гранитните легла помага да се намалят грешките, причинени от деформация на части, топлинни промени и вибрации.
Заключение
В заключение, гранитните легла са критичен компонент при производството на оборудване за полупроводници, тъй като предлагат стабилност с висока размера, ниско термично разширение и отлична устойчивост на износване и абразия. Те са от съществено значение за точни, повтарящи се и надеждни показатели в системите за проверка на вафли, системи за измерване на вафли, системи за обработка на вафли и друго оборудване с висока точност. Използването на гранитни легла гарантира, че производителите на полупроводниково оборудване могат да произвеждат висококачествени продукти, които отговарят на строгите стандарти, изисквани от съвременната полупроводникова индустрия.
Време за публикация: APR-03-2024