Стабилността и точността на всяка ултрапрецизна машина – от големи координатно-измервателни машини (CMM) до усъвършенствано оборудване за полупроводникова литография – се основават основно на нейната гранитна основа. Когато се работи с монолитни основи със значителен мащаб или със сложни многосекционни гранитни плоски панели, процесът на сглобяване и инсталиране е също толкова критичен, колкото и самата прецизност на производството. Самото поставяне на готовия панел е недостатъчно; трябва да се спазват специфични екологични и структурни изисквания, за да се запази и използва сертифицираната субмикронна плоскост на панела.
1. Основата: Стабилна, равна основа
Най-често срещаното погрешно схващане е, че прецизните гранитни панели, като тези, изработени от нашия черен гранит с висока плътност ZHHIMG® (3100 кг/м³), могат да коригират нестабилен под. Въпреки че гранитът предлага изключителна твърдост, той трябва да бъде поддържан от конструкция, проектирана за минимално дългосрочно отклонение.
Зоната за сглобяване трябва да е с бетонна основа, която е не само равна, но и правилно втвърдена, често по военни спецификации за дебелина и плътност – отразяваща ултратвърдите бетонни подове с дебелина 1000 мм в собствените монтажни халета на ZHHIMG. От решаващо значение е тази основа да бъде изолирана от външни източници на вибрации. При проектирането на най-големите ни машинни бази, ние включваме концепции като антивибрационния ров около нашите метрологични помещения, за да гарантираме, че самата основа е статична и изолирана.
2. Изолационният слой: Фугиране и изравняване
Строго се избягва директен контакт между гранитния панел и бетонната основа. Гранитната основа трябва да бъде подпряна на специфични, математически изчислени точки, за да се неутрализира вътрешното напрежение и да се запази сертифицираната ѝ геометрия. Това изисква професионална система за нивелиране и фугиращ слой.
След като панелът е точно позициониран с помощта на регулируеми нивелиращи крикове или клинове, в кухината между гранита и основата се изпомпва високоякостна, несвиваема, прецизна фугираща смес. Тази специализирана фугираща смес се втвърдява, за да образува плътна, равномерна повърхност, която трайно разпределя равномерно теглото на панела, предотвратявайки провисване или деформация, които в противен случай биха могли да въведат вътрешно напрежение и да нарушат плоскостта с течение на времето. Тази стъпка ефективно трансформира гранитния панел и основата в единна, сплотена и твърда маса.
3. Термично и времево равновесие
Както при всяка високопрецизна метрологична работа, търпението е от първостепенно значение. Гранитният панел, фугиращият материал и бетонната основа трябва да достигнат термично равновесие с околната работна среда, преди да се извършат окончателните проверки за подравняване. Този процес може да отнеме дни за много големи панели.
Освен това, нивелирането – извършвано с помощта на инструменти като лазерни интерферометри и електронни нивелири – трябва да се извършва бавно, на малки интервали, което дава време на материала да се уталожи. Нашите майстори-техници, които спазват строги световни метрологични стандарти (DIN, ASME), разбират, че прибързаното окончателно нивелиране може да доведе до латентно напрежение, което ще се прояви по-късно при отклонение в точността.
4. Интегриране на компоненти и персонализирано сглобяване
За персонализираните гранитни компоненти или гранитни плоски панели на ZHHIMG, които интегрират линейни двигатели, въздушни лагери или релси за CMM, крайният монтаж изисква абсолютна чистота. Нашите специализирани чисти монтажни помещения, които имитират среда на полупроводниково оборудване, са необходими, защото дори микроскопични прахови частици, задържани между гранита и металния компонент, могат да предизвикат микродеформация. Всеки интерфейс трябва да бъде щателно почистен и проверен преди окончателното закрепване, като се гарантира, че размерната стабилност на компонента се предава безупречно в самата машинна система.
Спазвайки тези строги изисквания, клиентите гарантират, че не просто инсталират компонент, а успешно определят крайната референтна точка за своето ултрапрецизно оборудване – основа, гарантирана от експертния опит на ZHHIMG в материалознанието и производството.
Време на публикуване: 29 октомври 2025 г.