IВ производството на полупроводници, точността на оборудването за инспекция на пластини е от решаващо значение за осигуряване на качеството на интегралните схеми. Високопрецизните гранитни основи за машини, като тези, предоставяни от ZHHIMG®, играят жизненоважна роля за подобряване на производителността на такова оборудване. Ето как те променят нещата.
Изключителна размерна стабилностГранитът се отличава с изключително нисък коефициент на термично разширение, около (4–8)×10⁻⁶/℃, значително по-нисък от много метали. В строго контролираната среда на фабриките за полупроводници, където дори малки температурни колебания могат да причинят грешки в измерването, основите на гранитните машини остават стабилни. Тази стабилност гарантира, че позиционирането на компонентите в оборудването за инспекция на пластини остава точно, предотвратявайки всякакви термично предизвикани отклонения, които биха могли да повлияят на прецизността на резултатите от инспекцията.
Превъзходно амортизиране на вибрациитеПроизводствените подове често са изпълнени с вибрации от различни източници. Присъщите на гранита амортизиращи свойства, с коефициент на амортизация от 0,05 до 0,1, ефективно абсорбират и разсейват тези вибрации. За инспекция с вафли
При проектиране, което изисква изображения с висока резолюция и прецизни показания от сензорите, намаляването на вибрациите, осигурено от гранитните основи, е безценно. То минимизира смущенията, които биха могли да размажат изображенията или да изкривят данните от сензорите, позволявайки на оборудването да улавя ясна и точна информация за повърхността и вътрешната структура на пластината.
Висока твърдост и износоустойчивост С плътност от приблизително 3100 kg/m³, гранитните основи на машините на ZHHIMG® предлагат забележителна твърдост. Те могат да поддържат тежките компоненти на оборудването за инспекция на пластини, без да се деформират, поддържайки подравняването на оптичните и механичните системи. Освен това, високата твърдост на гранита (скала на Mohs 6–7) и отличната износоустойчивост гарантират, че повърхността на основата на машината остава равна и гладка с течение на времето. Тази консистентност е от съществено значение за дългосрочната точност, тъй като всяко износване или деформация на основата може постепенно да влоши прецизността на оборудването.
Химична инертностПроизводството на полупроводници включва излагане на различни химикали. Химическата инертност на гранита го прави устойчив на корозия от тези вещества. Това свойство защитава целостта на основата на машината, предотвратявайки химически повреди, които биха могли да повлияят на стабилността и точността на инспекционното оборудване.
В заключение, високопрецизните гранитни основи за машини не са просто компонент, а ключов фактор за постигане на високите изисквания за точност на оборудването за инспекция на полупроводникови пластини. Когато избирате гранитни основи за машини, изберете надеждни доставчици като ZHHIMG®. С множество сертификати и ангажимент за качество, ZHHIMG® гарантира, че всяка гранитна основа за машина осигурява надеждността и производителността, необходими за модерно производство на полупроводници.
Време на публикуване: 03 юни 2025 г.