В областта на производството на полупроводници, субмикронната прецизност е ключът към осигуряване на производителност на чиповете, а гранитната основа (ZHHIMG®), със своите свойства на материала, прецизна обработка и иновативен дизайн, се е превърнала в основна гаранция за постигане на тази прецизност.
От гледна точка на свойствата на материала, черният гранит, избран от ZHHIMG®, има плътност от приблизително 3100 кг/м³, с плътна вътрешна структура. Тази висока плътност му придава изключителна стабилност и твърдост. По време на работа на полупроводниково оборудване, въртенето на двигателите и движението на механичните компоненти вътре в оборудването генерират вибрации. Гранитната основа може ефективно да абсорбира над 90% от вибрационната енергия, което значително намалява въздействието на вибрациите върху точността на оборудването. В същото време, изключително ниският коефициент на термично разширение му позволява да поддържа деформацията си в много малък диапазон, когато температурата на околната среда се колебае, осигурявайки стабилна опорна основа за полупроводниково оборудване и предотвратявайки изместването на компонентите на оборудването поради температурни промени, което би могло да повлияе на точността.
По отношение на обработката и производството, фабриката ZHHIMG® използва международно модерно оборудване за обработка и разполага с четири свръхголеми шлифовъчни машини (всяка машина струва над 500 000 щатски долара), които могат да извършват високопрецизно шлифоване на гранит. Чрез петосна CNC обработка и други процеси, плоскостта на основата на машината може да достигне нанометрово ниво, осигурявайки ултраплоска референтна повърхност за инсталиране на полупроводниково оборудване и гарантирайки прецизното позициониране на всеки компонент на оборудването. Освен това, работилницата с постоянна температура и влажност (с площ от 10 000 квадратни метра) осигурява стабилна среда за обработка. Антивибрационните канали около нея с ширина 500 мм и дълбочина 2000 мм, както и безшумните кранове, ефективно изолират външните вибрационни смущения и гарантират точността на обработка на основата на машината.
В допълнение, ZHHIMG® има и силни възможности за персонализиране. За специалните изисквания на полупроводниковото оборудване, прецизни монтажни отвори и кабелни скари могат да бъдат предварително изработени, за да се постигне перфектна съвместимост между оборудването и основата. В същото време, в комбинация със световна класа метрологично и тестово оборудване, като немския минутен манометър Mahr (с точност от 0,5 μm) и швейцарския електронен нивелир WYLER, основата на машината е стриктно инспектирана и калибрирана, за да се гарантира, че всяка основа на машината може да отговори на строгите изисквания на полупроводниковото оборудване за точност на субмикронно ниво.
Именно комбинацията от тези предимства прави гранитната основа ZHHIMG® надежден избор за постигане на субмикронна прецизност в полупроводниковото оборудване, помагайки на производството на полупроводници да се насочи към области с по-висока прецизност.
Време на публикуване: 18 юни 2025 г.