В прецизния свят на производството на полупроводници, безразрушителното изпитване на пластини е ключово звено за гарантиране на качеството на чиповете. Привидно незначителната гранитна основа всъщност е „невъзпятият герой“, който определя точността на откриване. Как, за бога, тя влияе на резултатите от теста? Тази статия ще проведе задълбочен анализ от измерения като свойства на материалите и структурен дизайн.
1. Стабилна основа: Естествените предимства на гранита полагат солидна основа за прецизност
1. Отлични сеизмични характеристики
По време на работа на оборудването за безразрушителен контрол на пластини, въртенето на двигателя и движението на механичните компоненти генерират вибрации. Ако тези вибрации не бъдат ефективно потиснати, те сериозно ще повлияят на точността на тестването. Вътрешността на гранита е тясно преплетена с минерални кристали като кварц и фелдшпат. Уникалната му структура му придава естествен капацитет за абсорбиране на вибрации, способен да абсорбира над 90% от вибрационната енергия на оборудването. Действителните данни от измерванията на определен производител на полупроводници показват, че след използване на гранитната основа, амплитудата на вибрациите на оборудването за детектиране е намалена от 12μm на 2μm, като по този начин ефективно се избягва отклонението на сигнала за детектиране, причинено от вибрации.
2. Изключително нисък коефициент на термично разширение
По време на процеса на откриване, фактори като нагряване на оборудването и промени в температурата на околната среда ще повлияят на стабилността на основата на машината. Обикновените материали се разширяват значително при нагряване, но коефициентът на термично разширение на гранита е само 1/5 от този на стоманата. Дори ако температурата на околната среда се колебае с 10℃, деформацията му може да бъде пренебрегната. Това позволява на гранитната основа да осигури стабилна референтна платформа за инспекционното оборудване, като гарантира, че относителното положение между инспекционната сонда и пластината остава точно по всяко време и се избягват грешки при инспекция, причинени от термична деформация.
Второ, прецизен дизайн: Структурната оптимизация допълнително повишава надеждността на откриването
Гаранция за високопрецизна обработка и плоскост
Висококачествената гранитна основа се обработва чрез усъвършенствана петосна CNC технология, с плоскост от ±0,5 μm/m, което осигурява ултраплоска инсталация за инспекционно оборудване. При инспекция на пластини, вертикалността и хоризонталността на инспекционната сонда са от решаващо значение за резултатите от инспекцията. Високопрецизната гранитна основа може да осигури прецизното позициониране на сондата, което прави данните от инспекцията по-точни и надеждни.
2. Персонализирана структурна адаптация
Основите на гранитните машини могат да бъдат персонализирани за различно оборудване за безразрушителен контрол на пластини и изисквания на процеса. Например, за да се отговори на изискванията на оборудването за оптичен контрол за отражение на светлината, повърхността на основата на машината може да бъде специално обработена; За да се отговори на изискванията за монтаж на ултразвуково оборудване за контрол, основата може да бъде предварително изработена с прецизни монтажни отвори и кабелни скари, което позволява бърз и точен монтаж на оборудването и намалява отклоненията при откриване, причинени от грешки при монтажа.
Iii. Дългосрочна стабилност: Намаляване на загубата на прецизност, причинена от поддръжката на оборудването
Гранитът има висока твърдост и силна износоустойчивост, с твърдост по Моос от 6 до 7, което е три пъти по-голяма износоустойчивост от обикновената стомана. По време на дългосрочни инспекционни операции, повърхността на основата на машината не е склонна към износване и винаги може да поддържа добро състояние на точност. За разлика от това, основите, изработени от други материали, могат да причинят промени в инсталационните референтни точки на оборудването поради износване, като по този начин повлияят на точността на откриване и изискват често калибриране и поддръжка. Дългият експлоатационен живот и високата стабилност на гранитната основа ефективно намаляват честотата на поддръжка на оборудването и намаляват риска от загуба на точност, която може да възникне по време на процеса на поддръжка.
От устойчивост на удар и топлоустойчивост до прецизен дизайн, всяка характеристика на гранитната основа гарантира точността на безразрушителния контрол на пластините. В днешната ера на производство на полупроводници, която се стреми към максимална прецизност, изборът на висококачествена гранитна основа е като добавяне на солиден слой гаранция към точността и надеждността на резултатите от тестовете.
Време на публикуване: 18 юни 2025 г.