В цеха за производство на полупроводници изискванията на производствения процес на чипове за условия на околната среда и точност на оборудването са екстремни и всяко малко отклонение може да доведе до значителен спад в добива на чипа. Прецизната портална платформа за движение XYZT разчита на гранитни компоненти, които си сътрудничат с други части на платформата, за да изградят солидна основа за постигане на наномащабна точност.
Отлични свойства за блокиране на вибрациите
В цеха за производство на полупроводници, работата на периферно оборудване и движението на персонала могат да причинят вибрации. Вътрешната структура на гранитните компоненти е плътна и равномерна, с естествено високи характеристики на затихване, подобно на ефективна вибрационна „бариера“. Когато външните вибрации се предават на платформата XYZT, гранитният компонент може ефективно да намали повече от 80% от вибрационната енергия и да намали влиянието на вибрациите върху точността на движение на платформата. В същото време платформата е оборудвана с високопрецизна система за насочване с въздушен поплавък, която работи съвместно с гранитните компоненти. Насочващият въздушен поплавък използва стабилен газов филм, образуван от газ под високо налягане, за да реализира безконтактно движение на окачването на движещите се части на платформата и да намали малките вибрации, причинени от механично триене. Заедно двете гарантират, че точността на позициониране на платформата винаги се поддържа на нанометрово ниво в ключови процеси като литография на чипове и ецване, и избягват отклоненията в схемите на чиповете, причинени от вибрации.
Отлична термична стабилност
Колебанията на температурата и влажността в цеха оказват голямо влияние върху точността на оборудването за производство на чипове. Коефициентът на термично разширение на гранита е много нисък, обикновено 5-7 ×10⁻⁶/℃, като размерът му почти не се променя при промяна на температурата. Дори температурната разлика между деня и нощта в цеха или производството на топлина от оборудването да доведе до колебания на околната температура, гранитните компоненти могат да останат стабилни, предотвратявайки деформацията на платформата поради термично разширение и свиване. В същото време, интелигентната система за контрол на температурата, оборудвана с платформата, следи околната температура в реално време, автоматично регулира климатизацията и оборудването за разсейване на топлината и поддържа температурата в цеха на 20°C ±1°C. В комбинация с предимствата на термостабилността на гранита, това гарантира, че при дългосрочна експлоатация на платформата точността на движение на всяка ос винаги отговаря на стандартите за нанометрова точност при производство на чипове, за да се гарантира, че размерът на литографския шаблон на чипа е точен, а дълбочината на ецване е равномерна.
Задоволяване на нуждите от чиста околна среда
Цехът за производство на полупроводници трябва да поддържа висока степен на чистота, за да предотврати замърсяването на чипа с прахови частици. Самият гранит не произвежда прах, а повърхността е гладка и не абсорбира лесно прах. Платформата като цяло е с напълно затворена или полузатворена конструкция, за да се намали навлизането на външен прах. Вътрешната система за циркулация на въздуха е свързана със системата за чиста климатизация на цеха, за да се гарантира, че чистотата на вътрешния въздух достига нивото, необходимо за производството на чипове. В тази чиста среда гранитните компоненти няма да повлияят на производителността поради ерозия на прах, а ключови компоненти като високопрецизни сензори и двигатели на платформата също могат да работят стабилно, осигурявайки непрекъсната и надеждна гаранция за наномащабна точност при производството на чипове и помагайки на полупроводниковата индустрия да премине на по-високо ниво на обработка.
Време на публикуване: 14 април 2025 г.