В производството на полупроводници, фотолитографската машина е ключово устройство, което определя прецизността на чиповете, а гранитната основа, с многобройните си характеристики, се е превърнала в незаменим компонент на фотолитографската машина.
Термична стабилност: „Щитът“ срещу температурни промени
Когато фотолитографската машина работи, тя генерира голямо количество топлина. Дори температурно колебание от само 0,1℃ може да причини деформация на компонентите на оборудването и да повлияе на точността на фотолитографията. Коефициентът на термично разширение на гранита е изключително нисък, само 4-8 ×10⁻⁶/℃, което е приблизително 1/3 от този на стоманата и 1/5 от този на алуминиевата сплав. Това позволява на гранитната основа да поддържа размерна стабилност, когато фотолитографската машина работи дълго време или когато температурата на околната среда се променя, осигурявайки прецизно позициониране на оптичните компоненти и механичните структури.
Супер антивибрационни характеристики: „Гъбата“, която абсорбира вибрациите
В завод за полупроводници, работата на околното оборудване и движението на хора могат да генерират вибрации. Гранитът има висока плътност и твърда текстура, както и отлични амортисьорни свойства, с коефициент на затихване от 2 до 5 пъти по-висок от този на металите. Когато външни вибрации се предават на гранитната основа, триенето между вътрешните минерални кристали преобразува вибрационната енергия в топлинна енергия за разсейване, което може значително да намали вибрациите за кратко време, позволявайки на фотолитографската машина бързо да възстанови стабилността и да избегне размазване или несъответствие на фотолитографския шаблон поради вибрации.
Химична стабилност: „Пазителят“ на чистата околна среда
Вътрешността на фотолитографската машина влиза в контакт с различни химически среди, а обикновените метални материали са склонни към корозия или отделяне на частици. Гранитът е съставен от минерали като кварц и фелдшпат. Той има стабилни химични свойства и силна устойчивост на корозия. След накисване в киселинни и алкални разтвори, повърхностната корозия е изключително малка. В същото време, плътната му структура почти не генерира отломки или прах, отговаряйки на изискванията на най-високите стандарти за чисти помещения и намалявайки риска от замърсяване на пластините.
Адаптивност на обработката: „Идеалният материал“ за създаване на прецизни показатели
Основните компоненти на фотолитографската машина трябва да бъдат монтирани върху високопрецизна референтна повърхност. Вътрешната структура на гранита е еднородна и е лесна за обработка с изключително висока прецизност чрез шлайфане, полиране и други техники. Неговата плоскост може да достигне ≤0,5μm/m, а грапавостта на повърхността Ra е ≤0,05μm, което осигурява прецизна основа за монтаж на компоненти като оптични лещи.
Дълъг живот и липса на поддръжка: „Острите инструменти“ за намаляване на разходите
В сравнение с металните материали, които са склонни към умора и напукване при продължителна употреба, гранитът почти не се деформира или разрушава при нормални натоварвания и не изисква повърхностна обработка, като по този начин се избягва рискът от отлепване и замърсяване на покритието. В практически приложения, след многогодишна употреба, ключовите показатели за ефективност на гранитната основа могат да останат стабилни, което намалява разходите за експлоатация и поддръжка на оборудването.
От термична стабилност и устойчивост на вибрации до химическа инертност, многобройните характеристики на гранитната основа перфектно отговарят на изискванията на фотолитографската машина. Тъй като процесът на производство на чипове продължава да се развива към по-висока прецизност, гранитните основи ще продължат да играят незаменима роля в областта на производството на полупроводници.
Време на публикуване: 20 май 2025 г.