В областта на висококачественото производство и най-съвременните научни изследвания, ултрапрецизният модул за движение на въздушната поплавъка се е превърнал в ключово оборудване за фина работа и измерване, благодарение на отличните си прецизни характеристики. Прецизната гранитна основа, като опорно ядро, има строги изисквания за работната среда, а подходящите условия на околната среда са основата за осигуряване на стабилна работа и най-добър ефект.
Първо, контрол на температурата: прецизен "стабилизатор"
Въпреки че гранитът е известен със своята стабилност, той не е напълно имунизиран срещу температурни промени. Въпреки че коефициентът му на термично разширение е нисък, обикновено 5-7 ×10⁻⁶/℃, в сценарии с ултрапрецизен контрол на движението, фините температурни колебания все пак могат да причинят промени в размерите и да повлияят на точността на модула. В цеха за производство на полупроводникови чипове, процесът на литография изисква точност на позициониране на ниво данами, а температурата на околната среда се колебае с 1°C, а гранитната основа с дължина на страната 1 метър може да доведе до линейно разширение или свиване от 5-7 микрона. Тази малка промяна се предава от ултрапрецизния модул за движение на въздушната поплавъка, което е достатъчно, за да предизвика отклонение в шаблона на литографията на чипа и значително да намали добива. Следователно, оборудван с прецизна гранитна основа на въздушно плаващия ултрапрецизен модул за движение, идеалната работна среда трябва да се контролира на 20°C ±1°C, с помощта на високопрецизно оборудване за постоянна температура, като например климатична система с постоянна температура и влажност, непрекъснато наблюдение и регулиране на температурата на околната среда, за да се гарантира, че температурните колебания са в много малък диапазон, поддържат стабилността на размера на основата, за да се гарантира високопрецизна работа на модула.
Второ, управление на влажността: ключът към влагоустойчивата защита "камък"
Влажността е друг важен фактор, влияещ върху работата на прецизната гранитна основа. В среда с висока влажност гранитът лесно абсорбира водни пари, което може да доведе до кондензация на повърхността. Това не само влияе върху стабилността на връзката между гранита и ултрапрецизния модул за движение на въздушната поплавъка, но също така може да причини ерозия на повърхността и да намали блясъка и точността в дългосрочен план. В цеха за шлифоване на оптични лещи, ако влажността е по-висока от 60% относителна влажност за дълго време, водните пари, адсорбирани върху повърхността на гранитната основа, ще попречат на движението на плъзгача на газовия поплавък, което ще намали точността на шлифоване на лещите и ще доведе до дефекти на повърхността. Следователно, относителната влажност на работната среда трябва да бъде стриктно контролирана между 40%-60% относителна влажност, която може да се наблюдава и регулира в реално време чрез инсталиране на влагоабсорбатори, сензори за влажност и друго оборудване, за да се избегне повреда на гранитната основа поради висока влажност и да се осигури безпроблемната работа на ултрапрецизния модул за движение на въздушната поплавъка.
Трето, гаранция за чистота: „пазителят“ на прецизността
Вредата от праховите частици върху прецизната гранитна основа на ултрапрецизния модул за движение на въздушната флотация не може да бъде подценявана. След като малките частици попаднат в процепа на газовия филм между плъзгача на газовия поплавък и гранитната основа, те могат да разрушат равномерността на газовия филм, да увеличат триенето и дори да надраскат повърхността на основата, което води до намалена точност на движение. В цеха за ултрапрецизна обработка на аерокосмически части, ако праховите частици от въздуха попаднат върху гранитната основа, траекторията на движение на обработващия инструмент може да се отклони, което да повлияе на точността на обработка на частите. Следователно, работната зона трябва да се поддържа много чиста, достигайки 10 000 или дори по-високи нива на стандарти за чистота, чрез инсталиране на оборудване за пречистване на въздуха, като например високоефективни въздушни филтри (HEPA), които филтрират праховите частици във въздуха. В същото време персоналът трябва да носи дрехи без прах, калъфи за обувки и др., за да се намали прахът, внасян от хората. Поддържайте висока прецизна работна среда на гранитната основа и ултрапрецизния модул за движение на въздушния поплавък.
Четири, изолация на вибрациите: плавна работа на "шоковата подложка"
Външните вибрации са враг на прецизността на ултрапрецизния модул за движение на въздушната поплавъка. Въпреки че прецизната гранитна основа има известна способност за затихване на вибрациите, вибрациите с висока сила все пак могат да нарушат буферния си лимит. Вибрациите, генерирани от трафика около фабриката и работата на голямо механично оборудване, се предават към гранитната основа през земята, което ще повлияе на точността на движение на ултрапрецизния модул за движение на въздушната поплавъка. При висококачествените CMM вибрациите могат да доведат до нестабилен контакт между измервателната сонда и измервания детайл, което води до отклонение в данните от измерването. За да се реши този проблем, е необходимо да се предприемат ефективни мерки за изолиране на вибрациите, като например полагане на виброизолационни подложки в зоната за монтаж на оборудването, изграждане на виброизолираща основа или използване на активна система за виброизолация за активно компенсиране на външните вибрации и създаване на тиха и стабилна работна среда за прецизната гранитна основа и ултрапрецизния модул за движение на въздушната поплавъка.
Само чрез пълно отговаряне на екологичните изисквания за температура, влажност, чистота и контрол на вибрациите, гранитната прецизна основа на ултрапрецизния модул за движение на въздушния поплавък може да даде пълни предимства на производителността си, да осигури надеждна гаранция за ултрапрецизни операции в различни области и да помогне на индустрията да се насочи към по-високо ниво на прецизно производство и научни изследвания.
Време на публикуване: 08 април 2025 г.