В областта на прецизното производство и научните изследвания, плоскостта на прецизните гранитни платформи е ключов показател за осигуряване на точността на оборудването. Следва подробно въведение в няколко основни метода за откриване и техните работни процедури.
I. Метод за откриване с лазерен интерферометър
Лазерният интерферометър е предпочитаният инструмент за високопрецизно откриване на плоскост. Вземете за пример лазерния интерферометър ZYGO GPI XP, чиято разделителна способност може да достигне 0,1 nm. При провеждане на откриването, първо, източникът на светлина на интерферометъра се насочва към платформата и повърхността на платформата се разделя на мрежови области 50 mm × 50 mm. Впоследствие данните за интерферентните ресни се събират точка по точка, след което данните се напасват и анализират с помощта на полинома на Цернике, за да се получи грешката на плоскост. Този метод е приложим за високопрецизни платформи и може да открие грешки на плоскост ≤0,5 μm/m². Той се използва често при откриване на фотолитографски машини и висококачествени платформи с трикоординатни измервателни машини.
II. Метод с електронна нивелирна решетка
Електронното нивелирно детектиране с решетка е лесно за работа и високоефективно. Електронното нивелирно устройство TESA A2 (с резолюция 0,01 μm/m) е избрано и разположено в решетка 9×9 по посока на оста X/Y на платформата. Чрез синхронно събиране на данните за наклона на всяко ниво и след това използване на метода на най-малките квадрати за изчисление, може да се получи точна стойност на плоскостта. Този метод може ефективно да идентифицира локалните условия на вдлъбнатина и изпъкналост на платформата. Например, може да се открие и колебание от 0,2 μm в диапазон от 50 mm, което е подходящо за бързо откриване в масово производство.
Iii. Метод с оптични плоски кристали
Методът с оптичен плосък кристал е подходящ за откриване на платформи с малка площ. Прикрепете оптичния плосък кристал плътно към повърхността, която ще се тества върху платформата, и наблюдавайте интерферентните ресни, образувани между тях под осветяване с монохроматичен източник на светлина (като натриева лампа). Ако ивиците са успоредни прави ивици, това показва добра плоскост. Ако се появят извити ивици, изчислете грешката на плоскост въз основа на степента на изкривяване на ивиците. Всяка извита ивица представлява разлика във височината от 0,316 μm, а данните за плоскост могат да бъдат получени чрез просто преобразуване.
Четири. Метод за проверка на трикоординатна измервателна машина
Трикоординатната измервателна машина може да постигне високопрецизни измервания в триизмерно пространство. Поставете гранитната платформа върху работната маса на измервателната машина и използвайте сондата, за да съберете равномерно данни от множество точки на измерване върху повърхността на платформата. Системата на измервателната машина обработва и анализира тези данни, за да генерира отчет за плоскост на платформата. Този метод може не само да открие плоскост, но и да получи едновременно други геометрични параметри на платформата и е подходящ за цялостно откриване на големи гранитни платформи.
Овладяването на тези методи за откриване може да ви помогне точно да оцените плоскостта на прецизната гранитна платформа и да осигури надеждна гаранция за стабилна работа на прецизното оборудване.
Време на публикуване: 29 май 2025 г.