Прецизната революция в производството на полупроводници: Когато гранитът се среща с микронната технология
1.1 Неочаквани открития в материалознанието
Според доклада на SEMI International Semiconductor Association от 2023 г., 63% от съвременните фабрики в света са започнали да използват гранитни основи вместо традиционни метални платформи. Този естествен камък, който произхожда от кондензацията на магма дълбоко в Земята, пренаписва историята на производството на полупроводници поради уникалните си физични свойства:
Предимство на топлинната инерция: коефициентът на топлинно разширение на гранита от 4,5 × 10⁻⁶/℃ е само 1/5 от този на неръждаемата стомана, а размерната стабилност от ± 0,001 мм се поддържа при непрекъсната работа на литографската машина.
Характеристики на амортизиране на вибрациите: коефициентът на вътрешно триене е 15 пъти по-висок от този на чугуна, което ефективно абсорбира микровибрациите на оборудването.
Нулева намагнитване: напълно елиминира магнитната грешка при лазерно измерване
1.2 Пътят на метаморфозата от мина до фабрика
Вземайки за пример интелигентната производствена база на ZHHIMG в Шандонг, парче суров гранит трябва да премине през:
Ултрапрецизна обработка: петосен обработващ център с лостова система за 200 часа непрекъснато фрезоване, грапавост на повърхността до Ra0.008μm
Изкуствено стареене: 48 часа естествено освобождаване на напрежението в цеха с постоянна температура и влажност, което подобрява стабилността на продукта с 40%
Второ, разбийте шестте проблема с прецизността в производството на полупроводници - "скалното решение"
2.1 Схема за намаляване на степента на фрагментация на пластините
Демонстрация на случай: След като леярна за чипове в Германия внедри нашата газова плаваща гранитна платформа:
| Диаметър на пластината | намаляване на скоростта на чиповете | подобряване на плоскостта |
| 12 инча | 67% | ≤0,001 мм |
| 18 инча | 82% | ≤0,0005 мм |
2.2 Схема за пробиване на точността на литографското подравняване
Система за температурна компенсация: вграденият керамичен сензор следи променливата на формата в реално време и автоматично регулира наклона на платформата
Измерени данни: при колебание от 28℃±5℃, точността на вграждане варира по-малко от 0,12μm
Време на публикуване: 24 март 2025 г.