Поддържането на точността на гранитната платформа, като референтен инструмент за прецизно измерване и обработка, пряко влияе върху качеството на производството. Следва систематичен план за поддръжка, обхващащ контрол на околната среда, ежедневна поддръжка и професионално калибриране, за да се гарантира, че платформата поддържа точност на нанометрово ниво за дълго време.
1. Контрол на околната среда: Изграждане на прецизна защитна бариера
Управление на температурата и влажността
Температурата на работната среда трябва да се стабилизира на 20±1℃. Всяко колебание от 1℃ ще доведе до термична деформация на гранитната платформа от 0,5-1μm/m. В работилницата може да се инсталира система за постоянна температура, за да се предотврати директното обдухване на платформата от климатичните отвори.
Влажността трябва да се контролира между 40% и 60%. Прекомерната влажност може лесно да причини ръжда по металните части, докато твърде ниската влажност може да доведе до смущения от статично електричество при измерването.
Изолация на вибрациите
Платформата трябва да се държи далеч от източници на вибрации, като например щанцови машини и фрези. Препоръчително е да се поддържа разстояние повече от 3 метра от вибрационното оборудване.
Ако вибрациите не могат да бъдат избегнати, в долната част на платформата могат да се монтират амортисьори с пневматични пружини, за да се намали въздействието на вибрациите от околната среда върху плоскостта на платформата (което може да намали външните вибрации с повече от 80%).
2. Ежедневна поддръжка: Внимателен контрол от почистване до защита
Спецификация за почистване на повърхности
Отстраняване на прах: Избърсвайте повърхността с еленова кожа или кърпа без власинки в една и съща посока всеки ден, за да предотвратите надраскване на платформата от прахови частици (≥5μm). Упоритите петна могат да се избършат внимателно с безводен етанол (чистота ≥99,7%). Не трябва да се използват силни разтворители като ацетон.
Обезмасляване: Ако влезе в контакт с маслени петна, избършете го с разреден неутрален почистващ препарат, след което изплакнете с дейонизирана вода и изсушете на въздух, за да предотвратите проникването на минерално масло в малките пори на платформата.
Защита от товар и сблъсък
Товароносимостта на платформата трябва да се контролира в рамките на 70% от номиналното натоварване (например, за платформа от 1000 кг се препоръчва натоварването да бъде ≤700 кг), за да се избегне трайна деформация, причинена от локално претоварване.
Строго е забранено да се удря по работни детайли върху платформата. При работа с инструменти носете меки ръкавици, за да предотвратите надраскване на повърхността от остри предмети (драскотини с дълбочина по-голяма от 20μm ще повлияят на измерването на пътя на отразената светлина).
3. Професионално калибриране: Ядрото на научното поддържане на точността
Настройка на цикъла на калибриране
Конвенционални сценарии на употреба: Калибрирайте веднъж на тримесечие и използвайте лазерен интерферометър за откриване на плоскост (с точност от ±0,5 μm/m).
Високочестотна употреба или тежки условия: Месечно калибриране, с акцент върху наблюдението на чувствителни към температурата зони (като например ръбът на платформата в близост до източници на топлина).
Обработка след калибриране
Ако се установи отклонение в плоскостта (например > ±1μm/m), то трябва да се шлайфа и поправи от професионален техник, използвайки микропрах W1.5. Самостоятелното шлайфане с шкурка е строго забранено.
След калибрирането данните трябва да бъдат записани и архивирани, а също така трябва да се създаде крива на затихване на точността на платформата, за да се предвидят предварително изискванията за поддръжка.
4. Съхранение и транспорт: Избягвайте скрити загуби на прецизност
Ключови моменти за дългосрочно съхранение
При съхранение, платформата трябва да бъде покрита с влаго- и прахоустойчив капак. Дъното трябва да се поддържа от три точки (точката на опора е разположена на 2/9 от дължината на платформата), за да се предотврати деформация от огъване, причинена от гравитацията (платформа с дължина 1 метър може да се сгъне с 0,3 μm поради дългосрочно едноточково поддържане).
Редовно (месечно) променяйте позицията на опорните точки на платформата, за да избегнете дългосрочно локално налягане.
План за защита на транспорта
Транспортиране на къси разстояния: Увийте с амортизираща пяна, фиксирайте в твърда рамка и поддържайте ускорението в рамките на 2g.
Транспортиране на дълги разстояния: Необходимо е да се вакуумира и напълни със сух азот. След пристигане, трябва да се остави да престои 24 часа, докато температурата достигне равновесие, преди разопаковане, за да се предотврати влиянието на кондензираната вода върху точността.
5. Прогнозиране на повреди: Техники за идентифициране на ранни проблеми
Визуална проверка: Редовно наблюдавайте повърхността с лупа с 40-кратно увеличение. Ако се открият непрекъснати драскотини или значително намаляване на блясъка, това може да показва намаляване на точността.
Откриване на звук: Почукайте леко по платформата. Ако звукът стане дрезгав (обикновено трябва да е ясен), може да има микропукнатини вътре. Спрете незабавно да я използвате за откриване.
Чрез тази система за поддръжка, гранитната платформа ZHHIMG® може да поддържа плоскост от ±1μm/m в продължение на 10 години, което е повече от три пъти по-дълго от прецизния живот на платформи, които не се поддържат правилно. Практиката е доказала, че след като определен завод за полупроводници е възприел това решение, честотата на калибриране на платформата е намалена с 50%, а годишните разходи за поддръжка са спестени с повече от 150 000 юана.
Време на публикуване: 18 юни 2025 г.