Тъй като полупроводниковата индустрия агресивно се стреми към под-2nm технологични възли, маржът за механични грешки на практика е изчезнал. В тази среда с високи залози, стабилността на технологичната камера вече не е второстепенна грижа; тя е основното пречка за добив. В ZHHIMG наблюдаваме фундаментална промяна в начина, по който глобалните производители на оригинално оборудване (OEM) подхождат към структурната цялост на полупроводниковото капиталово оборудване.
Физиката на тишината: Усъвършенствани техники за затихване на вибрациите
В съвременното производство на пластини, вибрациите, които някога са се смятали за „фонов шум“, сега са катастрофални. Независимо дали става въпрос за микроколебания от ОВК системата на съоръжението или за вътрешна инерция на високоскоростна сканираща сцена, неконтролираната енергия директно се превръща в грешки при наслагване и размазани модели.
Съвременните техники за гасене на вибрациите в производството на полупроводници са се развили в многослойна архитектура. Докато пасивното гасене – използване на материали с голяма маса, като минерално леене или прецизен гранит – остава основата, наблюдаваме бум в интеграцията на активното гасене.
Активните системи използват пиезоелектрични задвижващи механизми и сензори в реално време, за да „анулират“ вибрациите чрез генериране на противочестоти. Ефективността на активните системи обаче е по своята същност ограничена от коефициента на затихване на основния материал. Именно тук експертният опит на ZHHIMG в областта на високодемпфиращите структурни материали става критичен. Чрез комбиниране на активна електроника с естествено инертна гранитна или композитна основа, ние осигуряваме „тиха зона“, където нанопозиционирането може да се извършва без смущения.
Възходът на движението без триене: Технология на въздушните лагери
Търсенето на по-висока производителност е довело до предела на традиционните механични лагери. Триенето води до нагряване, а топлината води до термично разширение – враг на прецизността. Това е довело до широкото разпространение на...технология на въздушни лагери за прецизни сцени.
Въздушните лагери поддържат товар върху тънък филм от сгъстен въздух, обикновено с дебелина само няколко микрона. Тъй като няма физически контакт, няма статично триене (сцепление). Това позволява:
-
Движение без хистерезис: Осигуряване на връщане на сцената към точно същата нанометрова координата всеки път.
-
Постоянство на скоростта: Критично важно за приложения за сканиране, като например инспекция с електроннолъчев лъч, където дори най-малкото „назъбване“ на механичен лагер би изкривило изображението.
-
Изключителна дълготрайност: Тъй като нямат докосващи се части, няма износване и генериране на частици, което ги прави идеални за чисти помещения от клас 1.
В ZHHIMG произвеждаме ултраплоските гранитни повърхности, които служат като направляващи за тези въздушни лагери. За да функционират правилно, тези повърхности трябва да бъдат шлифовани до гладкост, измерена в части от дължината на светлинната вълна.
Тенденции в полупроводниковото капиталово оборудване: 2026 г. и след това
С наближаването на 2026 г.тенденции в капиталовото оборудване за полупроводницисе характеризират с „Трите стълба“: Модулизация, Устойчивост и Термичен контрол.
-
Модулен дизайн на платформата: Производителите на оригинално оборудване (OEM) търсят базови модули „plug-and-play“. Вместо да проектират нова основа за всеки инструмент, те използват стандартизирани прецизни основи ZHHIMG, които могат да бъдат адаптирани за литография, метрология или ецване.
-
Термично управление: Тъй като EUV (екстремни ултравиолетови) източници на светлина генерират огромна топлина, основата на машината трябва да действа като масивен радиатор. Ние интегрираме сложни охлаждащи канали директно в нашите минерални и гранитни компоненти, за да поддържаме делта от $<0.01^\circ\text{C}$.
-
Съвместимост с вакуум: С все повече процеси, преминаващи към среди с висок вакуум, използваните материали трябва да са с нулево отделяне на газове. Нашата специализирана обработка на гранит и керамика гарантира, че целостта на вакуума никога не е компрометирана от структурната основа.
Стратегическо партньорство със ZHHIMG
ZHHIMG не е просто производител на компоненти; ние сме стратегически партньор във веригата за доставки на системи за управление на движението. Нашето съоръжение в Китай работи в тясно сътрудничество с инженерни екипи в Силициевата долина и Айндховен, за да реши най-трудните предизвикателства, свързани със стабилността в индустрията.
Чрез използването на нашите патентовани техники за притискане и нашето задълбочено разбиране натехники за затихване на вибрациите, ние даваме възможност на нашите клиенти да разширят границите на закона на Мур. Независимо дали разработвате инструмент от следващо поколение ALD (атомно отлагане на слой) или високоскоростен сондьор за пластини, основата започва със ZHHIMG.
Заключение
Еволюцията на производството на полупроводници е надпревара срещу законите на физиката. С наближаването на 2026 г. насам фокусът върху прецизността на въздушните лагери и усъвършенстваното демпфиране само ще се засили. За да се изпреварим на тези тенденции, е необходима основа – както буквално, така и преносно – изградена върху експертиза и иновации.
Време на публикуване: 26 януари 2026 г.