В прецизната верига на производство на полупроводници, системата за трансфер на пластини е като „спасителния пояс на производствената линия на чипове“, а нейната стабилност и точност директно определят процента на добив на чиповете. Новото поколение системи за трансфер на пластини революционно съчетава линейни двигатели с гранитни основи, а уникалните предимства на гранитните материали са именно основният код за отключване на високопроизводителна трансмисия.
Гранитна основа: Изграждане на „солидна като скала основа“ за стабилно предаване
Гранитът, претърпял стотици милиони години геоложко усъвършенстване, се характеризира с плътна и равномерна вътрешна минерална кристализация. Тази естествена характеристика го прави идеален основен материал за системи за пренос на пластини. В сложната среда на чисти помещения за полупроводници, гранитът, със своя ултра нисък коефициент на термично разширение (само 5-7 ×10⁻⁶/℃), може да устои на топлината, генерирана по време на работа на оборудването, и на влиянието на промените в температурата на околната среда, осигурявайки стабилност на размера на основата и избягвайки отклонението в пътя на предаване, причинено от термична деформация. Неговите изключителни характеристики на амортизиране на вибрациите могат бързо да абсорбират механичните вибрации, генерирани по време на стартиране, спиране и ускорение на линейни двигатели, както и външните смущения, причинени от работата на друго оборудване в цеха, осигурявайки стабилна платформа с „нулево трептене“ за пренос на пластини.
Междувременно, химическата стабилност на гранита гарантира, че той не корозира или не ръждясва в цехове за полупроводници, където киселинните и алкалните реагенти са летливи и се изисква висока чистота, като по този начин се избягва въздействието върху точността на предаване поради стареене на материала или адсорбция на замърсители. Гладките и плътни повърхностни характеристики могат по-ефективно да намалят адхезията на прах, отговаряйки на строгите стандарти за чисти помещения без прах и елиминирайки риска от замърсяване на пластините от основата.
Ефектът на „златното партньорство“ на линейните двигатели и гранита
Линейните двигатели, с характеристиките си на липса на механична хлабина при предаване, високо ускорение и висока скорост на реакция, осигуряват на предаването на пластини предимствата на „бързо, точно и стабилно“. Гранитната основа осигурява солидна и надеждна опорна платформа. Двете работят заедно, за да постигнат скок в производителността. Когато линейният двигател задвижва носача на пластините, за да се движи по релсата на гранитната основа, силната твърдост и стабилност на основата осигуряват ефективно предаване на движещата сила на двигателя, избягвайки загуба на сила или забавяне на предаването, причинено от деформация на основата.
Водени от търсенето на наномащабна прецизност, линейните двигатели могат да постигнат контрол на изместването на субмикронно ниво. Високопрецизните характеристики на обработка на гранитните основи (с грешки в плоскостта, контролирани в рамките на ±1μm) перфектно съвпадат с прецизното управление на линейните двигатели, като същевременно гарантират, че грешката в позиционирането по време на предаване на пластината е по-малка от ±5μm. Независимо дали става въпрос за високоскоростно преместване между различно технологично оборудване или прецизно паркиране за предаване на пластината, комбинацията от линейни двигатели и гранитни основи може да осигури „нулево отклонение и нулево трептене“ при предаване на пластината.
Проверка на индустриалната практика: Двойно подобрение на ефективността и процента на добив
След обновяване на системата си за трансфер на пластини, водещо световно предприятие за полупроводници внедри решение с линеен мотор + гранитна основа, което увеличи ефективността на трансфера на пластини с 40%, намали честотата на възникване на грешки като колизии и отмествания по време на процеса на трансфер с 85% и подобри общия добив на чипове с 6%. Зад данните се крие гаранцията за стабилност на предаването, осигурена от гранитната основа, и високоскоростният и прецизен синергичен ефект на линейния мотор, което значително намалява загубите и грешките в процеса на предаване на пластини.
От свойствата на материалите до прецизното производство, от предимствата в производителността до практическата проверка, комбинацията от линейни двигатели и гранитни основи предефинира стандартите на системите за трансфер на пластини. В бъдеще, когато полупроводниковата технология се развива към 3nm и 2nm процеси, гранитните материали със сигурност ще продължат да дават силен тласък в развитието на индустрията със своите незаменими предимства.
Време на публикуване: 14 май 2025 г.